半导体设备上市公司

1、 请阅读最后一页的免责声明 1 2020年07月23日 证券研究报告行业深度报告 电子行业 刻蚀设备：最优质半导体设备赛道，技术政策需求多栖驱动 半导体系列深度报告 看好 投资要点 刻蚀系半导体制造关键步骤，不同技术各有优势。
刻蚀已经成 为半导体晶圆制造中的关键步骤，在半导体制造中重要性凸 显。
按照刻蚀工艺划分，其主要分为干法刻蚀以及湿法刻蚀。
干法刻蚀占主导地位。
干法刻蚀的最大优势在于能够实现。

2、 请务必阅读正文后免责条款部分 2020 年年 06 月月 23 日日 公司研究公司研究 评级：评级：增持增持（维持维持） 研究所 证券分析师： 吴吉森 S0350520050002 证券分析师： 范益民 S0350519100001 国内半导体设备龙头，引领设备国产化大浪潮国内半导体设备龙头，引领设备国产化大浪潮 北方华创北方华创（002371）深度报告）深度报告 最近一年走势 。

3、 1 T a 证 券 研 究 报 告 证 券 研 究 报 告 公 司 深 度 研 究 公 司 深 度 研 究 至纯科技（至纯科技（603690）机械设备 加速半导体清洗设备布局加速半导体清洗设备布局，开创“芯”篇章，开创“芯”篇章 投资要点：投资要点： 立足高纯工艺，确立领域龙头地位。
立足高纯工艺，确立领域龙头地位。
2018年，至纯科技完成的上海华 力12英寸28纳米先进工艺产线的建设。

4、 1 证券研究报告证券研究报告 公司研究/首次覆盖 2020年02月11日 机械设备机械设备/专用设备专用设备 当前价格(元)： 204.00 合理价格区间(元)： - 章诚章诚 执业证书编号：S0570515020001 研究员 021-28972071 王林王林 执业证书编号：S0570518120002 研究员 李倩倩李倩倩 执业证书编号：S0570518090002 研究员 。

5、 Table_StockInfo 2020 年年 05 月月 17 日日 证券研究报告证券研究报告公司研究报告公司研究报告 持有持有 （首次）（首次） 当前价： 70.23 元 精测电子 （精测电子 （300567） 机械设备机械设备 目标价： 元（6 个月） 迈向泛半导体检测设备龙头迈向泛半导体检测设备龙头 投资要点投资要点 西南证券研究发展中心西南证券研究发展中心 分析师：倪正洋 。

6、 投资评级：投资评级：买入买入( (调高调高) ) 深 度 报 告 深 度 报 告 公 司 公 司 研 究 研 究 财 通 证 券 研 究 所 财 通 证 券 研 究 所 市场数据市场数据 20202020- -0606- -0909 收盘价（元） 17.41 一年内最低/最高(元) 11.74/24.68 市盈率 12.0 市净率 1.79 基础数据基础数据 净资产收益率(%。

7、万业企业：进军半导体设备 证券研究报告（首次覆盖） 2020年1月17日 方正科技首席分析师： 陈杭 S1220519110008 方正科技半导体分析师：范云浩S1220519120001 核心观点核心观点 从房地产业务转型半导体装备领域从房地产业务转型半导体装备领域。
万业企业以房地产业务起家，近年由于房地产调控政策收紧，行业整体供过于求， 公司积极谋求业务转型。
2018年底在集成电路。

8、 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 1 / 2222 Table_Page 行业专题研究|半导体 2020 年 6 月 18 日 证券研究报告 本报告联系人： 蔡锐帆 广发证券“科创”系列报告广发证券“科创”系列报告 盛美股份：盛美股份：半导体半导体清洗清洗设备领先企业设备领先企业 分析师：分析师： 许兴军 分析师：分析师： 罗立波 分析师：分析师： 王亮。

9、万 联 证 券 请阅读正文后的免责声明 证券研究报告证券研究报告| |机械设备机械设备 半导体设备专题综述篇：半导体设备专题综述篇：政策支持与政策支持与资金投入资金投入 助力设备国产化助力设备国产化 强于大市强于大市（维持） 半导体设备半导体设备专题专题报告报告 日期：2020 年 06 月 29 日 投资要点投资要点: : 技术限制凸显国产替代紧迫性， 政策支持技术限制凸显国产替代紧迫。

10、半导体设备投资地图半导体设备投资地图 证券分析师: 贺茂飞 E-MAIL: SAC执业证书编号: S0020520060001 证券研究报告证券研究报告 20202020年年7 7月月7 7日日 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 投资建议投资建议 2 我们坚定看好中国芯片产业崛起的机遇，在这一轮晶圆加工产业的扩张潮中，上游设备材料企业有望迎来历史性发展机遇。
回顾日本。

11、 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 1 / 2121 Table_Page 行业专题研究|机械设备 2020 年 5 月 10 日 证券研究报告 半导体设备系列研究十半导体设备系列研究十二二 半导体设备：半导体设备：二线二线变变一线一线的几个必要条件的几个必要条件 分析师：分析师： 代川 分析师：分析师： 罗立波 分析师：分析师： 许兴军 SAC 执证号：。

12、机械设备机械设备 1 / 66 机械设备机械设备 2020 年 03 月 12 日 投资评级：投资评级：看好看好（首次首次） 行业走势图行业走势图 数据来源：贝格数据 半导体设备系列半导体设备系列专题专题报告报告之一之一:半导体设备详解半导体设备详解 产业转移与国家力量赋能国产化加速推进产业转移与国家力量赋能国产化加速推进 行业深度报告行业深度报告 段小虎（分析师）段小虎（分。

13、 1/2 请务必阅读正文之后的免责条款部分 Table_main 点 评 报 告 行业名称行业名称：半导体：半导体 报告日期：2020 年 03 月 12 日 半导体半导体设备设备/ /材料迎来国产代替窗口期材料迎来国产代替窗口期 疫情放大供需矛盾，设备/材料迎来机会 行 业 公 司 研 究 半 导 体 ：孙芳芳 执业证书编号：S1230517100001 ：021-8。

14、 国产半导体设备进口替代突破口之清洗设备 国产湿法清洗龙头盛美回归 清洗贯穿全流程，随着制程难度清洗贯穿全流程，随着制程难度增加、清洗步骤增加、清洗步骤 随之随之大增大增，对清洗设备需求，对清洗设备需求也将提升也将提升。
1）硅片的加工过 程对洁净度要求非常高，几乎每一步加工都需要清除沾污，而 且随着未来制程不断先进、所需清洗步骤不断增多，清洗设备 需求量将成倍增长。
2）目前晶圆清。

15、 1 挖机销量再超预期，半导体设备优质标的开启上市征程挖机销量再超预期，半导体设备优质标的开启上市征程 本周市场表现：本周市场表现：本周细分板块以上涨为主，机械行业指数上涨 3.64%，同期沪 深 300 上涨 3.47%，机械行业跑赢大盘，在 28 个行业中排名第 1本周我们覆 盖的机械子行业中，除电梯设备下跌 1.24%之外，其余子行业均有所上涨，其中 工业制冷、核电设备、油服设备的涨幅。

16、 请务必阅读正文之后的免责条款部分 全球视野全球视野 本土智慧本土智慧 行业行业研究研究 Page 1 证券研究报告证券研究报告深度报告深度报告 电子元器件电子元器件 半导体专题研究系列八半导体专题研究系列八 超配超配 2020 年年 02 月月 10 日日 一年该行业与一年该行业与上证综指上证综指走势比较走势比较 行业专题行业专题 正在崛起的正在崛起的中国中国半导体半导体设备设备。

17、证券研究报告 2020年2月6日 半导体设备行业研究框架总论半导体设备行业研究框架总论 半导体景气度反转设备先行半导体景气度反转设备先行 方正科技组首席分析师陈杭： S1220519110008 方正半导体分析师范云浩： S1220519120001 核心观点核心观点 投资逻辑 1 1、半导体设备是芯片制造的基石，国产化亟待突破。
、半导体设备是芯片制造的基石，国产化亟待突破。

18、1 研究创造价值 从华峰测控上市看本土从华峰测控上市看本土半导体测试设备半导体测试设备黄金发展机遇黄金发展机遇 方正机械半导体设备专题研究（六）方正机械半导体设备专题研究（六） 方正证券研究所证券研究报告方正证券研究所证券研究报告 行业专题报告 行业研究 专用设备行业专用设备行业 2020.03.10/推荐 机械行业分析师：机械行业分析师： 张小郭 执业证书编号： S1220518120。

19、1 证券研究报告 作者： 行业评级： 上次评级： 行业报告 | 机械设备机械设备 强于大市 强于大市 维持 2020年02月09日 （评级） 分析师 邹润芳 SAC执业证书编号：S1110517010004 分析师 曾帅SAC执业证书编号：S1110517070006 分析师 崔宇SAC执业证书编号：S1110518060002 联系人 朱晔 继续推荐半导体设备和材料，关注国内测试机龙头上市继续推。

20、仍有较大的国产提升空间。
贸易战对我国半导体核心技术“卡脖子”半导体产业链中，上游半导体设备和中游制造对美依存度极高，核心芯片的国产化比率极低，存在受技术限制的可能性；相比之下，中游封测和下游终端市场领域对美依存度小，受到影响较小。
贸易战背景下，一方面设备企业前瞻布局非美国地区零部件采购，另一方面国内代工厂/存储器厂评估国内设备厂商的意愿增强。
根据某下游大厂近期的设备采购规划，其2018年国产装备的采购额占总装备采购额的比例仅13%，但从19年开始，国产化率快速提升，预计至2020年将达到30%左右。
下游厂商加速扩产，带动国内半导体设备需求当前大陆成为全球新建晶圆厂最积极的地区，以长江存储/合肥长鑫为代表的的存储器项目和以中芯国际/华力为代表的代工厂正处于加速扩产的阶段，预计带来大量的设备投资需求。
判断2020年国内半导体晶圆制造设备市场空间达1000亿以上，而封装和测试设备市场空间约200亿左右。
细分设备的国产化空间以刻蚀、成膜、量测、清洗、测试设备为例，分析细分领域设备的国产化进程及成长空间。

21、 请务必阅读正文之后的信息披露和法律声明 Table_MainInfo 公司研究公司研究/信息设备信息设备/半导体产品与半导体设备半导体产品与半导体设备 证券研究报告 恒玄科技恒玄科技公公司研究司研究 2020 年 10 月 09 日 Table_AuthorInfo 分析师:陈平 Tel:(021)23219646 Email: 证书:S0850514080004 分析师:尹苓 T。

22、 本报告由川财证券有限责任公司编制谨请参阅尾页的重要声明 深圳深圳上市公司上市公司分析分析 证券证券研究报告研究报告 所属所属部门部门 研究所 报告报告类别类别 特色主题 报告时间报告时间 2019/3/22 分析师分析师 陈雳陈雳 证书编号：S1100517060001 010-66495901 邓利军邓利军 证书编号： S1100517110001 021-6859519。

23、TableInfo1 半导体半导体 电子电子 TABLETITLE 日本日本 Ferrotec：全球半导体设备部件及材料隐形冠军：全球半导体设备部件及材料隐形冠军 半导体系列研究之十五 证券研究报告证券研究报告 2020 年 12 月 23。

24、机械设备机械设备专用设备专用设备 请务必参阅正文后面的信息披露和法律声明 1 21 中微公司中微公司688012.SH 2021 年 01 月 20 日 投资评级：投资评级：买入买入上调上调 日期2021119 当前股价元174.00 一年。

25、p stylewhitespace: normal;目前，国际国内市场中检测设备被国外高度垄断，目前绝大部分半导体设备依然高度依赖 进口，提升核芯技术自主化率已迫在眉睫。
pp stylewhitespace: normal;量检测设备领域：。

26、 2008 年，中微公司的设备进入台湾最大的半导体芯片厂台积电。
Lam Research 公司于 2009 年 1 月向中国台湾知识产权法院提出诉讼，指控中微公司公司在一关键零部件的设计中侵犯了 Lam 公司的专利。
台湾知识产权法院在经过。

27、2021年4月，台积电将其2021年资本开支提高至300亿美金2020年Q4指引是250280亿美pp金，其中80投在3nm5nm7nm等先进制程， 10投在先进封装，10投在成熟制程。
台积电未来三年资本开支合计为1000亿美金。
pp台积。

28、国内领先的半导体高端装备及一体化解决方案供应商。
北方华创是由七星电子和北方微 电子战略合并而成。
其前身为 2001 年 9 月成立的北京七星华创电子股份有限公司。
公 司深耕于芯片制造刻蚀领域薄膜沉积领域近 20 年，现已成为国内领先的半导。

29、刻蚀薄膜检测清洗等多个领域打破国内空白，技术突破迅速。
国内半导体设备行业起步较晚，总体营业规模上与海外巨头差距较大，但近年来国内企业不断加大投入，在技术上不断做出关键性的突破，打破了许多领域的空白，部分细分市场已开始实现国产替代。
例如，中。

30、相比全球，大陆先进封装占比低，内资厂商封装发展空间更大。
国内的一线厂商，如华 天科技通富微电等都具有先进封装的能力，但是先进封装营收占比低于全球水平，与国际 领先水平仍有一定差距。
根据集邦咨询统计，2018 年中国先进封装营收约为 526 。

31、2021 年 2 月 6 日，公司正式发布定增注册稿，拟向特定对象发行 A 股股票募资不超过 100 亿元用于中微产业化基地建设项目中微临港总部和研发中心项目科技储备资金。
2021 年 8 月 25 日公告，公司向特定对象发行人民币普通股A。

32、基础规则证券法，中华人民共和国证券法，国家主席令2019第三十七号，2019年12月修订，20200301生效收购办法， 上市公司收购管理办法，证监会令2020第166号，2020年03月修订，第四章协议转让规则，上市公司流通股协议转让业务。

33、华虹无锡：主要采购科天日立高新，国产厂商包括吉姆西半导体科技无锡卓海。
其中，吉姆西半导体科技 6 台中标设备为膜厚测量仪，无锡卓海 1 台中标设备为套刻精度检测机。
从两家公司官网我们了解到，吉姆西半导体科技主要业务为半导体再制造设备和研磨液。

34、 请务必阅读正文之后的免责条款部分 1 23 行业研究信息技术半导体与半导体生产设备 证券研究报告 半导体与半导体生产设半导体与半导体生产设备行业研究报告备行业研究报告 2022 年 01 月 08 日 半导体测试机，商业模式优质空间大半导。

35、 TableRightTitle 证券研究报告证券研究报告 机械设备机械设备 TableTitle 国内半导体清洗设备龙头， 三大战略进军国国内半导体清洗设备龙头， 三大战略进军国际化半导体平台型公司际化半导体平台型公司 TableStoc。

36、 上市公司 公司研究 公司深度 证券研究报告 机械设备 2022 年 05 月 06 日 拓荆科技 688072 半导体薄膜沉积设备龙头，上市后驶入成长快车道 报告原因：首次覆盖 增持首次评级 投资要点： 国内半导体薄膜沉积设备龙头，业绩进。

37、目 录1北京绿交所董事长王乃祥:碳量化碳定价与碳金融是双碳利器.42中碳登董事长陈志祥:夯实全国碳市场之基,助力美丽中国建设.103北京燃气集团董事长李雅兰:燃气在亚洲实现碳中和过程中的角色.124大唐集团董事长邹磊:推进能耗总量和强度双控。

38、 证券研究报告证券研究报告 请务必阅读正文之后第请务必阅读正文之后第 47 页页起起的免责条款和声明的免责条款和声明 从招标从招标数据数据看半导体设备国产化看半导体设备国产化现状现状 电子行业半导体设备深度专题2022.7.19 中信证券研。

39、请务必阅读末页的免责条款和声明2022年年8月月24日日半导体设备行业国产化现状分析半导体设备行业国产化现状分析中信证券研究部中信证券研究部 电子组电子组徐涛徐涛王子源王子源半导体设备深度专题半导体设备深度专题目录目录CONTENTS11。