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化学机械抛光设备的应用

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化学机械抛光设备的应用Tag内容描述：

1、发展新方向,从叉车走向布局燃料电池动力系统ProGen,公司从燃料电池叉车解决方案到布局燃料电池动力系统,不仅完善了公司的燃料电池产业链,也打开了一个庞大的机会市场,ProGen产品模块化的设计使大规模的应用成为可能,同时可以将产品。

2、段的化学机械平坦化应用场景有两类,一是用于形成光滑平整的界面,如应用于在层间介电层,Inter,Layer,Dielectric,抛光,二是用于形成内嵌的金属结构或者沟槽桩隔离,如铜互连与浅沟槽隔离的抛光。

3、段的化学机械平坦化应用场景有两类,一是用于形成光滑平整的界面,如应用于在层间介电层,Inter,Layer,Dielectric,抛光,二是用于形成内嵌的金属结构或者沟槽桩隔离,如铜互连与浅沟槽隔离的抛光。

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