1、 1 香 港 交 易 及 結 算 所 有 限 公 司 及 香 港 聯 合 交 易 所 有 限 公 司 對 本 公 告 的 內 容概 不 負 責,對 其 準 確 性 或 完 整 性 亦 不 發 表 任 何 聲 明,並 明 確 表 示,概 不 對因 本 公 告 全 部 或 任 何 部 分 內 容 而 產 生 或 因 倚 賴 該 等 內 容 而 引 致 的 任 何 損失 承 擔 任 何 責 任。普 達 特 科 技 有 限 公 司*PRODUCTIVE TECHNOLOGIES COMPANY LIMITED(於百慕達註冊成立並於開曼群島存續之有限公司)(股份代號:650)截 至 二 零 二 五 年
2、三 月 三 十 一 日 止 年 度 之 末 期 業 績普 達 特 科 技 有 限 公 司*(本 公 司)董 事(董 事)會(董 事 會)欣 然 宣 佈 本 公司 及 其 附 屬 公 司(本 集 團)截 至 二 零 二 五 年 三 月 三 十 一 日 止 財 政 年 度(二零 二 四 財 年)之 綜 合 業 績 連 同 上 一 年(二 零 二 三 財 年)之 比 較 數 字。業 務 亮 點我 們 的 半 導 體 設 備 業 務:於 二 零 二 四 財 年,本 公 司 的 半 導 體 設 備 產 業 化 取 得 了 重 大 進 展。我 們 的半 導 體 清 洗 設 備 已 服 務 十 餘 家 晶
3、圓 廠 客 戶,順 利 完 成 了 多 台 設 備 的 交 付和 驗 證,量 產 實 績 不 斷 積 累。本 公 司 對 已 有 半 導 體 單 片 清 洗 設 備 平 台 進行 迭 代 升 級,建 立 起 了 差 異 化 的 技 術 優 勢,同 時 對 關 鍵 工 藝 與 創 新 性 設備 持 續 研 究 與 開 發(研 發),進 一 步 推 進 了 打 破 海 外 設 備 壟 斷 的 進 程。半導 體 低 壓 化 學 氣 相 沉 積(LPCVD)設 備 已 完 成 應 用 於LP-SiN等 多 種 關 鍵 薄 膜沉 積 工 藝 的 型 號 開 發,並 已 成 功 發 貨 至 客 戶。2 C
4、UBE/QUADRA單 片 清 洗 設 備,可 覆 蓋612英 吋 矽 晶 圓 與SiC晶 圓 應 用,具備 超 薄 晶 圓 的 處 理 能 力、業 界 領 先 的 伯 努 利 傳 輸 與 晶 圓 邊 緣 管 控 技 術。報 告 期 內,本 公 司 多 台 設 備 發 貨 至 功 率 與SiC等 領 域 客 戶,新 客 戶 的 樣 機合 同 已 轉 為 正 式 訂 單 並 完 成 驗 收。截 至 本 業 績 公 告 日 期,本 設 備 已 服 務於8家 不 同 客 戶,多 台 設 備 完 成 正 式 驗 收,且 已 獲 得 來 自 客 戶 驗 收 設 備 後的 重 複 訂 單,並 已 成 功
5、交 付。OCTOPUS單 片 清 洗 設 備,應 用 於12英 吋 晶 圓 規 模 化 產 線。該 設 備 平 台 對標 國 際 龍 頭 設 備 供 應 商,覆 蓋 單 片 清 洗 的 主 要 工 藝,且 具 備 更 高 的 產 能、更 靈 活 的 工 藝 配 置 與 更 低 的 成 本。在 產 業 化 方 面,該 設 備 經 一 重 要 客 戶的 測 試 驗 證,已 轉 為 正 式 訂 單,並 已 經 通 過 驗 收;在 高 端 工 藝 開 發 方 面,針 對 關 鍵 制 程 高 溫 硫 酸 清 洗 的OCTOPUS-HTSPM設 備,已 通 過 客 戶 的 多 項工 藝 性 能 測 試 與
6、 馬 拉 松 測 試,取 得 了 符 合 國 際 主 流 標 準 的 測 試 結 果,目前 已 擁 有 意 向 客 戶,進 入 樣 機 的 組 裝 與 測 試 階 段,推 進 了 國 產 設 備 打 破海 外 壟 斷 的 進 程。Parallelo槽 式 清 洗 設 備,應 用 於12吋 晶 圓 槽 式 清 洗 工 藝,可 實 現 業 界 領 先的 表 面 金 屬 污 染 控 制,具 備 更 靈 活 的 配 置 與 更 高 的 產 能。第 一 台 裝 置 目前 正 處 於 開 發 及 測 試 階 段,即 將 成 為 對 本 公 司 清 洗 設 備 產 品 組 合 的 有 力補 充。此 外,本