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电子束曝光系统市场

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1、加50,量测需求增加30,由于电子束检测量测类设备所释放的电子束会损伤晶圆,所以在产线中光学设备的配置比例更高,根据KLA,有图形光学检测类设备市场规模已从2019年的13,5亿美元增长至2021年的28,8亿美元,展望未来,国内晶圆厂将在。

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