股权结构清晰，创始人王晖博士为公司实控人。盛美上海股东中仅美国 ACMR持股超过 5%，持有 82.5%股权，王晖博士持有美国 ACMR 投票权不低于 35%，并通过美国 ACMR 实际控制公司，负责公司整体战略规划，并作为核心技术人员为公司的技术研发方向提供指导和支持。此外，芯时咨询、芯港咨询是公司的两个员工持股平台，分别持股 0.41%、0.17%。此外，根据公司 2022 年一季报新进股东诺安基金持股 0.62%。