拓荆科技-国产薄膜沉积设备龙头广阔空间加速成长-220503（27页）.pdf

1、 请仔细阅读本报告末页声明请仔细阅读本报告末页声明 证券研究报告 | 首次覆盖报告 2022 年 05 月 03 日 拓荆科技拓荆科技-U（688072.SH） 国产国产薄膜沉积设备薄膜沉积设备龙头，龙头，广阔空间加速成长广阔空间加速成长 国国内唯一内唯一 P PECECVDVD、S SACVDACVD 产业化供应商产业化供应商，打破外资垄断打破外资垄断。拓荆科技成立于 2010 年，十余年来专注于半导体薄膜沉积设备，承担多项国家科技重大专项，是国内唯一一家产业化应用 PECVD 和 SACVD 设备的供应商，主要产品包含 PECVD 设备、ALD 设备及 SACVD 设备三个系列， 产品已适

2、配国内最先进的 28/14nm 逻辑芯片、 19/17nm DRAM芯片及 64/128 层 3D NAND FLASH 晶圆制造产线，并应用于中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂，累计发货超 150 台，打破外资厂商在国内的垄断局面。 营收连续高增，营收连续高增，盈利能力盈利能力快速快速提升。提升。受益于国内半导体设备需求快速增长，公司持续研发投入进行产品迭代，提升竞争力，公司营收自 2018 年 0.71 亿元增长至 2021年 7.6 亿元，归母净利润由 2018 年的-1.0 亿元，到 2021 年扭亏为盈 6848.7 万元。此外随着规模化逐步

3、体现、工艺技术提升、先进工艺机台推出，公司毛利率快速提升，由 2018 的 31.67%提升至 2021 年 44.0%，2022Q1 进一步提升至 47.4%。 2020 年全球薄膜设备市场达到年全球薄膜设备市场达到 138 亿美元，占亿美元，占 IC 制造设备制造设备 21%；其中主要是；其中主要是CVD 和和 PVD，合计占，合计占 IC 制造设备制造设备 18%。CVD 市场规模达到 89 亿美元，主流是设备包括PECVD、 Tube CVD、 LPCVD和ALD等。 整个薄膜市场市占率最高的是AMAT。高端领域如 ALD 受 ASM、TEL 和 Lam 等海外龙头主导。根据 Gart

4、ner，全球 CVD 市场前五大供应商包括 AMAT（28%） 、Lam Research（25%） 、TEL（17%） 、Kokusai（原日立高新，8%） 、ASM（11%） 。 国内薄膜厂商加速导入，国产化率仍有较大提升空间。国内薄膜厂商加速导入，国产化率仍有较大提升空间。根据招标网数据统计，长江存储在 20192020 年采购薄膜类设备约每年 200 多台（主要是 CVD 和 PVD） ，主要类别以 CVD 为主，其中原子层沉积 7080 台。从国产替代率而言，溅镀（PVD 类）北方华创供应数量比重较高，合计达到将近 20%；CVD 类国产替代率较低，主要国产供应商拓荆科技供应占比约

5、23%。北方华创、拓荆科技在华虹无锡、华力集成项目合计国产化率约 1015%。 国国产产 P PECVDECVD 领军者领军者，研产销均有先发优势，研产销均有先发优势，充分受益充分受益国产化国产化进程。进程。在 PECVD、ALD 及SACVD 设备领域， 拓荆科技产品总体性能和关键性能参数已达国际同类设备水平。 作为国内唯一实现 PECVD 及 SACVD 设备产业化应用的厂商，2019 至 2020 年公司 PECVD设备中标机台数量占长江存储、上海华力、无锡华虹和上海积塔四家招标总量的16.65%；同时公司还已与某国际领先晶圆厂建立业务联系，发货两台设备至该厂先进制程研发产线，奠定全球市

6、场基础。我们预计公司将在 2022 年至 2024 年实现收入 11.87/17.64/23.27 亿元，归母净利润 1.12/2.26/3.56 亿元，对应当前估值135.0/66.7/42.4x，首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示风险提示：国产替代进展不及预期、全球贸易纷争影响、下游需求不确定性 财务财务指标指标 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 营业收入（百万元） 436 758 1,187 1,764 2,327 增长率 yoy（%） 73.4 74.0 56.5 48.7 32.0 归母净利润（百万元） -11 68 112 226 356 增长率 yo