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1、创新主体创新能力评价Professional IP Service Since 2012服务科技创新 服务未来价值持之以恒 锐意进取标准报告晶圆机械手Professional IP Service Since 201201晶圆机械手概述CONTENTS持之以恒 锐意进取Professional IP Service Since 2012持之以恒锐意进取01晶圆机械手概述晶圆机械手，技术难度较高;高度依赖进口，国产替代迫在眉睫。晶圆机械手概览晶圆机械手（Wafer Handling Robot，简称WHR），是半导体制造过程中不可或缺的关键设备，通常采用精密的机械结构和先进的控制系统，以确保对晶

2、圆的精准抓取、定位和移动。其工作原理通常基于先进的运动学和控制理论，通过计算机编程完成复杂的动作，包括定位、抓取和移动晶圆。在实际操作中，机械手会根据传感器的反馈信息实时调整其运动路径和动作，以适应各种生产要求。晶圆机械手广泛应用于半导体制造的多个环节，如清洗、刻蚀、光刻、扩散、沉积、装配、包装和测试等。此外，它在显示器制造和太阳能产业中也扮演着重要角色。在显示器制造中，晶圆机械手用于液晶显示屏（LCD）和有机发光二极管（OLED）的生产；在太阳能产业中，它被广泛应用于太阳能电池片的生产。晶圆机械手简介晶圆机械手技术发展早期人工干预较多，效率低且易出错，半导体制造的初步阶段，主要用于简单的晶圆

3、搬运。人工干预较多，效率低且易出错，半导体制造的初步阶段，主要用于简单的晶圆搬运。1970s自动化采用简单的机械结构，实现一定程度的自动化，半导体制造过程中的晶圆搬运，提高生产效率。采用简单的机械结构，实现一定程度的自动化，半导体制造过程中的晶圆搬运，提高生产效率。1970-1980s多自由度设计机械手采用多自由度设计，能够实现复杂的运动轨迹，半导体制造中的高精度晶圆搬运，适应不同的生产环境机械手采用多自由度设计，能够实现复杂的运动轨迹，半导体制造中的高精度晶圆搬运，适应不同的生产环境1980-1990s视觉与传感结合集成视觉传感器和力传感器，提高搬运精度和安全性，减少人为因素带来的影响。集成

4、视觉传感器和力传感器，提高搬运精度和安全性，减少人为因素带来的影响。1990-2000s智能化应用智能算法，如深度学习算法，实现自我学习和优化，半导体制造中的智能化晶圆搬运，提高生产效率和产品质量。应用智能算法，如深度学习算法，实现自我学习和优化，半导体制造中的智能化晶圆搬运，提高生产效率和产品质量。2000-2020s高集成度与协作能力更高的集成度，更强的智能化和协作能力，半导体制造中的多功能一体化晶圆搬运，与其他自动化设备及人类工人进行良好的协作。更高的集成度，更强的智能化和协作能力，半导体制造中的多功能一体化晶圆搬运，与其他自动化设备及人类工人进行良好的协作。2020s-未来SEMICO

5、N CHINA 2025 国内晶圆机械手参展厂商 沈阳新松半导体设备有限公司 仪自动化装备技术股份有限公司 和崎精密科技有限公司 微法尔半导体科技有限公司 锐洁机器人科技有限公司 大族富创得科技股份有限公司 广川科技有限公司 微松工业自动化有限公司 果纳半导体技术有限公司素珀电子科技（）有限公司济南翼菲智能科技股份有限公司泓浒（州）半导体科技有限公司无锡星微科技有限公司格创 智（武汉）科技有限公司厦门蚨祺自动化设备有限公司杭州慧翔电液技术开发有限公司Professional IP Service Since 201202晶圆机械手相关专利之宏观解析CONTENTS持之以恒 锐意进取Profes

6、sional IP Service Since 2012持之以恒锐意进取02晶圆机械手相关专利宏观解析晶圆机械手相关专利在申请量 表现出明显趋势特征，并在申请人，申请国家以及主分类号 表现出明显的集中特征。晶圆机械手相关专利申请趋势从申请趋势来看：从申请趋势来看：全球晶圆机械手的总体申请趋势呈现上全球晶圆机械手的总体申请趋势呈现上升趋势；升趋势；美国美国、日本地区的晶圆机械手专利申请日本地区的晶圆机械手专利申请在在19801980s s-20102010s s时期时期，呈现波动上升态势呈现波动上升态势 中国地区的晶圆机械手专利申请从中国地区的晶圆机械手专利申请从20102010s s呈现快速上