2023半导体量测设备行业竞争格局及国内企业发展机遇分析报告.pdf

1、2023 年深度行业分析研究报告 目目 录录 1.半导体量测设备行业壁垒高，竞争格局较为集中半导体量测设备行业壁垒高，竞争格局较为集中.4 1.1 半导体量测设备可分为检测（Inspection）和量测（Metrology）两大类别.4 1.2 半导体量测设备市场集中度较高，由美国和日本等海外厂商所主导.7 2.复盘半导体量测设备龙头成长之路，我们认为国内量测设备有望实现自主可控复盘半导体量测设备龙头成长之路，我们认为国内量测设备有望实现自主可控.9 2.1 复盘科磊半导体成长之路，我们得到了哪些结论？.9 2.2 顺应天时地利人和，国产半导体量测设备迎来发展良机.14（1）天时：半导体行业持

2、续增长为量测设备发展提供快车道，国家政策频出解决卡脖子问题.14（2）地利：半导体产业向国内转移叠加产业基金扶持，为量测设备本土化落地提供沃土.17（3）人和：越来越多专家和行业领军人物回国拥抱半导体浪潮，工程师红利有利于解决上游理化层面 know-how.19 3.国内半导体量测设备公司有望实现弯道超车国内半导体量测设备公司有望实现弯道超车.20 3.1 精测电子：国内半导体检测龙头企业，产品类别覆盖面广.21 3.2 赛腾股份：并购龙头企业 Optima，打造平台型检测设备公司.22 3.3 中科飞测：深耕半导体量测设备，多类产品与国际竞品性能相当.24 3.4 东方晶源：EBI 和 CD

3、-SEM领域填补国内关键空缺.27 3.5 睿励科学仪器：集成电路量测设备的领航者.28 插图目录插图目录 图图 1：广义上的半导体量测设备可分为广义上的半导体量测设备可分为 Inspection 和和 Metrology 两大类别两大类别.4 图图 2：过程控制设备中检测设备占比过程控制设备中检测设备占比 55%，量测设备占比，量测设备占比 34%.4 图图 3：半导体行业发展对于工艺控制水平提出了更高的要求半导体行业发展对于工艺控制水平提出了更高的要求.4 图图 4：摩尔定律促进了半导体工艺的发展，进而驱动量测设备不断迭代摩尔定律促进了半导体工艺的发展，进而驱动量测设备不断迭代.5 图图

4、5：半导体量测设备发展与制程迭代直接挂钩半导体量测设备发展与制程迭代直接挂钩.5 图图 6：全球半导体检测与量测设备市场规模全球半导体检测与量测设备市场规模 6年年均复合增长率为年年均复合增长率为 12.21%.6 图图 7：科磊半导体科磊半导体 eSL10电子束图案化晶圆缺陷检测设备电子束图案化晶圆缺陷检测设备.7 图图 8：科磊半导体科磊半导体 SpectraShape关键尺寸量测设备关键尺寸量测设备.7 图图 9：半导体晶圆设备市场目前被美国和日本等海外厂商主导半导体晶圆设备市场目前被美国和日本等海外厂商主导.7 图图 10：晶圆制造厂（晶圆制造厂（FAB）设备中）设备中 CR5 为为

5、65.5%.8 图图 11：半导体量测设备半导体量测设备 CR5 为为 82.4%，其中，其中 KLA占比占比 51%.8 图图 12：科磊半导体科磊半导体多元化过程控制领域的全球领导者多元化过程控制领域的全球领导者.9 图图 13：KLA通过不断并购来拓展半导体量测业务通过不断并购来拓展半导体量测业务.12 图图 14：KLA公司在中国大陆地区的收入快速增长公司在中国大陆地区的收入快速增长.14 图图 15：KLA公司在台湾地区收入也保持相对较快增长公司在台湾地区收入也保持相对较快增长.14 图图 16：科磊半导体研发费用保持较快增长，科磊半导体研发费用保持较快增长，2022 年公司研发费用

6、占收入的年公司研发费用占收入的 12%.14 图图 17：全球半导体市场保持持续增长全球半导体市场保持持续增长.15 AUhU2VkW8Z5XjWZYmU9Y8ObP7NpNqQpNnOkPpPtOlOpOyQ9PqRnNwMnMqMMYnMuM 图图 18：全球半导体行业资本开支不断增大全球半导体行业资本开支不断增大.15 图图 19：2021年全球半导体设备销售额接近年全球半导体设备销售额接近 1000 亿美元亿美元.16 图图 20：中国大陆晶圆厂产能占比持续提升，预计中国大陆晶圆厂产能占比持续提升，预计 2024年达年达 19%.17 图图 21：2022年大陆晶圆自给率为年大陆晶圆自