华特气体特气产品及竞争格局-行业数据

特气品类领先，主要产品应用于高附加值半导体领域。公司集成电路领域电子特种气体产品实现了包括高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨、高纯一氧化氮、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、锗烷、高纯乙烯、高纯甲烷、高纯六氟丁二烯等众多产品的进口替代。公司自主研发的氟碳类、光刻稀混气类、氢化物、氮氧化合物、硅系前驱体等系列产品主要应用在半导体制程工艺中的刻蚀、清洗、光刻、外延、沉积/成膜、离子注入等核心环节，对最终元器件的性能起到关键决定性作用。公司拳头产品光刻气（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）通过了荷兰 ASML和日本 GIGAPHOTON 株式会社的认证，是国内唯一一家通过两家认证的气体公司。