【华源证券】芯源微（688037）-涂胶显影+清洗设备一体两翼发展，北方华创战略收购，大湿法平台化提速-250819（34页）.pdf

1、请务必仔细阅读正文之后的评级说明和重要声明请务必仔细阅读正文之后的评级说明和重要声明证券研究报告证券研究报告电子电子|半导体半导体非金融非金融|公司深度报告公司深度报告hyzqdatemark投资评级投资评级：买入买入（维持）（维持）证券分析师证券分析师葛星甫SAC：S联系人联系人市场表现：市场表现：基本数据基本数据20252025 年年 0808 月月 1818 日日收盘价（元）126.17一 年 内 最 高/最 低（元）128.99/56.18总市值（百万元）25,395.23流通市值（百万元）25,395.23总股本（百万股）201.28资产负债率（%）50.24每股净资产（元/股）13

2、.47资料来源：聚源数据芯源微芯源微(688037.SH)(688037.SH)涂胶显影+清洗设备一体两翼发展，北方华创战略收购，大湿法平台化提速投资要点：投资要点：芯源微是国内领先的大湿法设备龙头，致力于为客户提供半导体前后道装备与工艺芯源微是国内领先的大湿法设备龙头，致力于为客户提供半导体前后道装备与工艺的整体解决方案。的整体解决方案。公司不断优化产品布局，目前已形成前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备以及临时键合、解键合设备和化合物等小尺寸设备的产品矩阵。涂胶显影设备持续突破，化学清洗设备产业化进展顺利，后道先进封装设备优势巩涂胶显影设备持续突破，化学清洗设备产业化进展顺利，

3、后道先进封装设备优势巩固，产品矩阵持续拓宽。固，产品矩阵持续拓宽。公司是国内唯一可提供量产型前道涂胶显影机的厂商，目前已成功开发 Offline、I-line、Krf 以及 Arf 浸没式等多种型号产品。截至 2024 年相关产品已完成晶圆加工环节 28nm 及以上工艺节点的覆盖，并不断向更高工艺演进。此外公司持续研发新一代超高产能涂胶显影机架构 FTEX 并积极寻求客户端验证，通过自主设计的先进机台架构提升整体产能，以匹配未来光刻机产能提升需求。公司前道涂胶显影设备客户端表现优异，产品认可度不断提升，为国内客户提供高端涂胶显影设备的国产替代选择。公司前道物理清洗机保持领先优势获得下游客户认可

4、，目前已成为国内逻辑、功率器件客户主力量产机型。公司战略新产品前道化学清洗机整体工艺覆盖率达 80%以上，可适配高温 SPM 工艺，成功打破国外垄断，未来有望打造公司业绩增长新动能，与涂胶显影设备形成技术协同与商务协同。公司后道涂胶显影机、单片式湿法设备连续多年服务于国内外一线大厂，受益于下游市场景气度回升，签单规模良好。公司新产品 Frame 清洗设备、临时键合机和解键合机在国内多家客户通过工艺验证，逐步进入放量阶段，后道先进封装领域的产品矩阵有望持续完善。半导体设备市场需求持续增长半导体设备市场需求持续增长，涂胶显影涂胶显影、清洗设备市场国产替代需求旺盛清洗设备市场国产替代需求旺盛。24

5、年受益于 AI 推动的先进制程投资扩张、HBM 产能军备竞赛以及中国半导体自主化浪潮不断推进，全球半导体设备销售额同比增长 10%，达 1171 亿美元。根据 SEMI预测，2025 年有望保持良好增长态势，全年总销售额或将实现 1255 亿美元。根据智研咨询，涂胶显影设备行业长期被国际企业垄断，国产替代诉求强烈。2024 年国内涂胶显影设备市场规模达 125.9 亿元，国内厂商市场占比仅为 14.24%。此外清洗设备市场格局中，美日韩厂商凭借技术先进性垄断全球清洗设备市场，根据 2023 年中国电子专用设备工业协会数据统计，国内半导体清洗设备市场规模为 113 亿元，国产化率为 35%，国产

6、化替代存在较大发展空间。北方华创取得对公司的控制权，行业龙头支持为公司注入发展新动能。北方华创取得对公司的控制权，行业龙头支持为公司注入发展新动能。北方华创通过协议受让和改组公司董事会获得公司实际控制权，截至目前北方华创持有公司股份比例 17.87%，成为公司第一大股东。北方华创与公司同处集成电路设备行业，产品布局具有较强的互补性。控制权变更有望赋能双方不同设备工艺整合，协同为客户提供更完整高效的集成电路设备解决方案。公司作为国内涂胶显影设备、单片式湿法设备龙头，化学清洗、临时键合等新产品产业化迅速。我们认为，北方华创取得对公司的控制权有望全面赋能公司研发端、供应链和客户资源，优化研发模式和2