2022年拓荆科技主营业务分析及全球薄膜沉积设备行业市场规模测算报告（26页）.pdf

1、2022 年深度行业分析研究报告 2 目录目录 名词解释名词解释 . 5 管理团队：管理团队：国际化薄膜沉积设备研发技术国际化薄膜沉积设备研发技术队伍队伍 . 6 主营业务：主营业务： PECVD、SACVD、ALD . 8 公司正处于高成长阶段 . 8 收入结构：以 PECVD 为主 . 8 客户结构：国内外 12 英寸一线客户为主 . 9 薄膜沉积：拓荆可覆盖大部分薄膜沉积：拓荆可覆盖大部分 PECVD 工艺工艺 . 10 薄膜沉积定义：沉积待处理薄膜材料 . 10 薄膜沉积分类：CVD、PVD、ALD、电镀 . 10 拓荆可覆盖 16 种 PECVD 工艺、3 种 SACVD 工艺 .

2、11 PECVD：收入占比 9 成，可覆盖大部分工艺 . 12 SACVD：出色的沟槽填充能力并具备较快的填充速率 . 14 ALD 设备：PE-ALD 设备成功量产，THERMAL ALD 设备正在研发 . 15 可覆盖市场规模：全球约可覆盖市场规模：全球约 75 亿美元亿美元 ，国内约，国内约 RMB100 亿元亿元 . 16 全球半导体设备行业： 迈上千亿美元台阶 . 16 薄膜沉积设备市场规模：200 亿美元 . 17 拓荆可覆盖市场规模推算 . 18 市场地位：本土产线上市占率市场地位：本土产线上市占率 PECVD 17%，SACVD 25% . 19 全球薄膜沉积设备行业高度垄断

3、. 19 拓荆在本土产线上的 PECVD 市占率显著提升 . 19 拓荆是目前国内唯一实现 PECVD 产品放量增长的本土企业 . 20 MBbWiYhYhUlXhXtUiYbRdN7NnPnNpNnPiNrRsOeRsQmM9PrRvMMYoMoMMYnRqM 3 图表图表目录目录 投资摘要投资摘要 . 1 图表图表 1. 拓荆核心管理、技术团队拓荆核心管理、技术团队 . 6 图表图表 2. 拓荆管理层持股比例拓荆管理层持股比例 6.69%（上市前）（上市前） . 6 图表图表 3. 拓荆股权结构（上市前）拓荆股权结构（上市前） . 7 图表图表 4. 拓荆科技主要经营业绩拓荆科技主要经营业

4、绩 . 8 图表图表 5. 拓荆拓荆 2020年收入结构年收入结构 . 8 图表图表 6. 拓荆核心产品的工艺、制程、客户拓荆核心产品的工艺、制程、客户 . 9 图表图表 7. 拓荆的客户结构拓荆的客户结构 . 9 图表图表 8. ALD、CVD、PVD成膜效果成膜效果 . 10 图表图表 9. PECVD设备反应腔结构设备反应腔结构 . 11 图表图表 10. CVD各类产品比较各类产品比较 . 11 图表图表 11. 拓荆目前可覆盖的拓荆目前可覆盖的 CVD工艺工艺 . 12 图表图表 12. 拓荆拓荆已研发并生产已研发并生产 16种不同工艺的种不同工艺的 PECVD . 12 图表图表

5、13. 拓荆开发拓荆开发 6种种 PECVD产品型号产品型号 . 13 图表图表 14. 拓荆拓荆 PECVD的收入拆分的收入拆分 . 13 图表图表 15. SACVD设备反应腔简图设备反应腔简图 . 14 图表图表 16. 拓荆可覆盖拓荆可覆盖 3种种 SACVD工艺工艺 . 14 图表图表 17. 拓荆科技两大拓荆科技两大 SACVD产品型号产品型号 . 14 图表图表 18. ALD设备反应原理图设备反应原理图 . 15 图表图表 19. 拓荆科技拓荆科技 ALD产品型号产品型号 . 15 图表图表 20. 全球半导体设备行业市场规模扩大至全球半导体设备行业市场规模扩大至 1000亿美

6、元亿美元 . 16 图表图表 21. 中国半导体设备行业快速成长中国半导体设备行业快速成长 . 16 图表图表 22. 中国大陆已跃升为全球第一大半导体设备市场中国大陆已跃升为全球第一大半导体设备市场 . 17 图表图表 23. 晶圆制程设备占半导体设备的晶圆制程设备占半导体设备的 80% . 17 图表图表 24. 薄膜沉积设备占晶圆制程设备（薄膜沉积设备占晶圆制程设备（WFE）的）的 20% . 18 图表图表 25. CVD的产品分类与结构的产品分类与结构 . 18 图表图表 26. 全球薄膜沉积设备竞争格局全球薄膜沉积设备竞争格局 . 19 图表图表 27. 本土产线上本土产线上 PE