国家科技图书文献中心：2023年重要电子特气及湿电子化学品行业研发技术情报调研报告（165页）.pdf

1、i 重要电子特气及湿电子化学品重要电子特气及湿电子化学品 行业研发技术行业研发技术情报调研报告情报调研报告 国家科技图书文献中心 中国科学院文献情报中心 中国化工信息中心 2023 年 5 月 i 目目 录录 1.重要电子化学品行业概况.1 1.1 主要电子特气市场概况.4 1.2 主要电子特气的分离纯化技术.9 1.3 主要湿电子化学品市场概况.11 1.4 主要湿电子化学品的分离纯化技术.17 2.重要电子特气研发技术趋势.21 2.1 主要电子特气.21 2.1.1 电子特气的分类.21 2.1.2 电子特气应用.21 2.2 主要电子特气处理工艺技术研发态势.23 2.2.1 专利申请

2、趋势.23 2.2.2 主要国家/地区.24 2.2.3 主要专利申请人.25 2.2.4 技术分类.25 2.2.5 技术热点.30 2.2.6 核心专利.31 2.2.7 法律状态.34 2.3 主要电子特气分离重点技术研发态势分析.34 2.3.1 专利申请趋势.34 2.3.2 主要国家/地区.35 2.3.3 主要专利申请人.35 2.3.4 技术分类.37 2.3.5 技术热点.42 2.3.6 核心专利.42 2.3.7 法律状态.48 2.4 电子特气领军企业.48 2.4.1 法国液化空气.48 2.4.2 林德.65 3.重要湿电子化学品研发技术趋势.88 ii 3.1 主

3、要湿电子化学品.88 3.1.1 湿电子化学品分类.88 3.1.2 湿电子化学品应用.89 3.2 湿电子化学品处理半导体工艺重点技术研发态势分析.90 3.2.1 专利申请趋势.90 3.2.2 主要国家/地区.91 3.2.3 主要专利申请人.92 3.2.4 技术分类.92 3.2.5 技术热点.95 3.2.6 核心专利.97 3.2.7 法律状态.100 3.3 湿电子化学品分离技术研发态势分析.100 3.3.1 专利申请趋势.100 3.3.2 主要国家/地区.101 3.3.3 主要专利申请人.101 3.3.4 技术分类.102 3.3.5 技术热点.105 3.3.6 核

4、心专利.106 3.3.7 法律状态.111 3.4 湿电子化学品领先企业.111 3.4.1 三菱瓦斯化学.111 3.4.1.1 发展历程.111 3.4.1.2 专利布局.114 3.4.2 巴斯夫.125 3.4.2.1 发展历程.125 3.4.2.2 专利布局.127 4.小结.158 致谢.161 1 1.重要电子化学品行业概况重要电子化学品行业概况 电子化学品是专为电子信息产品制造配套的专用化工材料，是电子信息产业的重要支撑材料。电子化学品广泛应用于半导体芯片（以集成电路为主）、平板显示器（液晶显示、有机发光二极管显示等）、LED 照明和太阳能电池等领域（见图 1-1）。图 1

5、-1 电子化学品主要产业链 根据国际半导体产业协会 SEMI 数据，2020 年半导体材料市场规模达 553 亿美元。其中，2020 年前道制造耗材市场达 349 亿美元，细分耗材及占比主要为硅片（33%）、电子特气（14%）、光掩模（13%）、光刻胶及配套材料（13%）、CMP 抛光材料（7%）、湿电子化学品（4%）和靶材（3%）。集成电路（IC）是半导体产业的核心，是采用半导体制作工艺，把一定数量的电阻、电容和晶体管等常用电子元件及导线互连组合成的电子电路。集成电路行业通常包括设计、制造和封装三大模块。其中，集成电路制造过程中需要使用大量的湿电子化学品和电子特气，集成电路制造主要工艺如图

6、1-2 所示，湿电子化学品和电子特气在集成电路工艺中的应用情况如表 2-1 所示。2 图 1-1 集成电路制造主要工艺 表 1-1 湿电子化学品和电子特气在集成电路工艺中的应用情况 工艺工艺 类别类别 具体产品具体产品 清洗 湿电子化学品 有机试剂：丙酮、三氯乙烯、甲醇、异丙醇 无机溶剂：H2SO4、HNO3、HCl、HF、NH3(aq)、H2O2 氧化 电子特气 Cl2、HCl、三氯乙烷、二氯乙烯 光刻 电子特气 氟气、氦气、氪气、氖气等 显影 湿电子化学品 正性光刻胶：有机碱水溶液（TMK、TMA）负性光刻胶：二甲苯、脂肪烃、醋酸正丁酯 去胶 湿电子化学品 有机试剂：有机溶液 无机试剂：H