第三代半导体产业技术创新战略联盟：2022第三代半导体产业发展报告（63页）.pdf

1、 目目 录录 前言前言.1 一、国际第三代半导体产业进展一、国际第三代半导体产业进展.4（一）逆全球化竞争加剧，各国强化自主发展（一）逆全球化竞争加剧，各国强化自主发展.4（二）（二）8 英寸英寸 SiC 产业化加快，制备出产业化加快，制备出 6 英寸英寸 GaN 单晶单晶.8（三）增长超过预期，企业加速扩张（三）增长超过预期，企业加速扩张.19（四）新能源汽车及储能推动产业进入高速增（四）新能源汽车及储能推动产业进入高速增长期长期.24 二、国内第三二、国内第三代半导体产业进展代半导体产业进展.28（一）国际封锁倒逼国产替代加速（一）国际封锁倒逼国产替代加速.28（二）器件装备产品进入应用（

2、二）器件装备产品进入应用.32（三）功率电子与射频产值增长（三）功率电子与射频产值增长 11.7%.43（四）市场加速渗透，新应用逐步开启（四）市场加速渗透，新应用逐步开启.51 三、趋势与展望三、趋势与展望.60 1 前言前言 2022 年，全球零碳政策深入实施，清洁能源利用增加，带动第三年，全球零碳政策深入实施，清洁能源利用增加，带动第三代半导体技术和产业快速发展。代半导体技术和产业快速发展。为应对气候变化，控制温室气体排放，叠加欧洲能源危机，2022 年，各国纷纷加快清洁能源产业发展，推动经济绿色转型发展。中国也积极推进“双碳”目标实现，不断调整产业结构，加速低碳技术应用，提升能源使用效

3、率，加快清洁能源开发。在此过程中，第三代半导体材料和技术在功率电子装置小型化和模块化，提高能源互联网可靠性、可控性，提升电动汽车和高速轨道交通电能转换效率，降低 5G 基站、数据中心等能耗等方面发挥关键作用，同时绿色低碳产业发展也带动了第三代半导体技术和产业进步。2022 年，年，全球全球半导体产业终结半导体产业终结连续连续高增长高增长，进入调整周期，进入调整周期，与与此此形成对比，在新能源汽车、光伏、储能等需求带动下，第三代半导体形成对比，在新能源汽车、光伏、储能等需求带动下，第三代半导体产业保持高速发展。技术方面产业保持高速发展。技术方面，碳化硅（SiC）领域，8 英寸衬底开始产业化；车规

4、级 SiC 功率器件是开发重点，多家厂商推出大功率模组及高温封装产品；整车及零部件厂商加快采用高压（800V 或 1200V）SiC 功率产品。氮化镓（GaN）领域，制备 6 英寸单晶衬底技术有新进展；小型化、高功率密度、耐辐照的 GaN 功率器件新品加快推出，耐压 1200V 的商业化产品和垂直型 GaN 功率器件实现小批量供货。GaN 射频方面，硅基 GaN 射频器件出货增加，多家企业推出 GaN 毫米波产品。GaN 光电子方面，Mini-LED 量产加速，Micro-LED 技术不断进步。超宽禁带方面，氧化镓(Ga2O3)是研究热点，衬底、外延、器件及装备等各环节技术均有突破，产业化技术

5、加快推进。设备和辅 2 材方面，8 英寸 SiC 设备推出，散热辅材持续改进。市场及产业方面市场及产业方面，新能源汽车，光伏与储能推动产业进入高速增长期，2022 年全球 SiC、GaN 功率半导体市场约 23.7 亿美元，GaN 微波射频市场约为 12.4 亿美元。上市公司产品供不应求、订单充分饱和、企业加速产能扩张，第三代半导体业务高增长、高毛利成为业绩亮点。随着龙头企业通过联合、绑定、并购等方式积极进入，第三代半导体全球化供应链正在形成，竞争格局逐步确立，先发企业的优势进一步稳固。总体来看，国际第三代半导体产业步入快速成长期。国内第三代半导体产业经过前期产能部署和产线建设，国产第三国内第

6、三代半导体产业经过前期产能部署和产线建设，国产第三代半导体产品相继开发成功并通过验证，进入产业成长期。技术方面，代半导体产品相继开发成功并通过验证，进入产业成长期。技术方面，SiC 商业化衬底外延主流仍为 6 英寸，8 英寸处于研发和小批量试产阶段，液相法生长 SiC 单晶开始试生产；SiC 二极管产品基本成熟，量产增加；多家企业加速推出 SiC MOSFET 商业化产品；国产 SiC 器件及模块在光伏及储能领域开始小批量应用。GaN 方面，制备出 6 英寸 GaN 单晶，GaN 消费电子产品价格下跌，GaN 射频产品供应增加。国产长晶、外延、工艺装备加速推出，标准生态逐步搭建。产业方面，产业