【公司研究】至纯科技-立足高纯工艺半导体清洗设备将迎增长-20200615[36页].pdf

1、至纯科技（603690） 证券研究报告公司研究专用设备 1 / 36 东吴证券研究所东吴证券研究所 立足立足高纯工艺，半导体高纯工艺，半导体清洗设备清洗设备将将迎增迎增长长 增持（首次） 投投资要点资要点 国内高纯工艺国内高纯工艺系统系统龙头龙头，后发进军后发进军半导体清洗设备业务半导体清洗设备业务 至纯科技主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务， 2019 年 收入分别为 6.37 亿元和 0.82 亿元，占比总收入的 65%和 8%。其中，半导 体清洗设备业务，虽然起步稍晚，但市场空间大、增速快，是公司的最大 业务亮点。2015-2019 年公司收入由 2.08 亿元增长至 9.86

2、 亿元，CAGR 达 48%，归母净利润从 1770 万增长至 1.1 亿，CAGR 达 57%。 2019 年公司收购波汇科技进军光传感器市场， 产业链向下延伸的同时 也将与现有的泛半导体行业多项业务形成协同效应。 高纯工艺系统：高纯工艺系统：国内国内龙头地位稳定，龙头地位稳定，为公司提供稳定的现金流为公司提供稳定的现金流 高纯工艺系统是为下游企业提供整体解决方案高纯工艺系统是为下游企业提供整体解决方案的业务的业务， 属于特定行业， 属于特定行业 的系统集成业务的系统集成业务，是制造业企业新建厂房和生产线的固定资产投资的重要 组成部分，约占其固定资产投资总额的 5%-8%。 公司高纯工艺公司

3、高纯工艺系统国内系统国内龙头地位龙头地位逐步逐步稳固稳固， 客户选择系统供应商非常客户选择系统供应商非常 谨慎、客户粘性高，谨慎、客户粘性高，预计未来可保持年化预计未来可保持年化 10%-20%的复合增长的复合增长。目前行 业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等 级市场集中度较高（主要为国外龙头） 、低等级市场较为分散的竞争格局。 公司董事长蒋渊曾是行业龙头美国凯耐第斯的中国区营销总监，团队技术 积累深厚，帮助至纯的系统集成业务逐步实现进口替代。2012 年-2019 年 高纯工艺系统收入从 1.37 亿元增长到 6.37 亿元，复合增速为 25%，是为 公司提供稳健

4、增长现金流的业务板块。 主要下游为医疗、光伏、 半导体等， 订单增长与下游客户的固定资产投资紧密相关。我们预计 2020 到 2022 年 高纯工艺系统收入分别为 8.6、10.4、11.4 亿元。 进军半导体清洗设备领域，进军半导体清洗设备领域，赛道好赛道好空间大，空间大，容易容易率先率先实现全面国产化实现全面国产化 清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约 5-6%，较光刻、刻蚀等，较光刻、刻蚀等 核心设备价值量较低核心设备价值量较低。同时技术门槛同时技术门槛也也较低，比较容易较低，比较容易率先率先实现全面国产实现全面国产 化化，故市场空间大，故市场空间

5、大。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在 15-20 亿美元， 到 2023 年清洗机的国产化率可达 40%-50%， 即国产设备的 市场空间在 40-70 亿元。且预计未来 12 寸晶圆的槽式和单片式清洗设备 将是市场的主要增量，其中单片式清洗机至纯有望成为少数几家具备核心 技术的国内设备商。 公司的公司的半导体清洗设备主要包括湿法槽式清洗设备半导体清洗设备主要包括湿法槽式清洗设备（难度低）（难度低）和单片和单片 式清洗设备式清洗设备（难度（难度高高） 。2019 年起开始批量出货，目前槽式清洗设备和单 片式清洗设备均能应用于 8 寸及 12 寸的晶圆。公司凭借技术优势，迅速 积累

6、了中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源，2019 年湿法工艺 装备新增订单总额达 1.7 亿元（截止 2019 年末，累计已取得近 40 台正式 订单，已完成近 20 台设备装机） 。目前公司启东一期生产基地全面建成， 已达到 48 套/年的产能，一二期共规划 96 套/年，公司于 2019 年 12 月发 行可转债，募资 3.56 亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预 计在 2022 年达产，预计初步可贡献最高达 9 亿元的清洗机业务的收入规 模。我们预计 2020 到 2022 年半导体设备收入分别为 1.6、2.9、5.0 亿元。 盈利预测与投资评级盈利预测与投资评级：