芯源微：芯源微2022年年度报告摘要.PDF

1、公司代码：688037 公司简称：芯源微 沈阳芯源微电子设备股份有限公司沈阳芯源微电子设备股份有限公司 20222022 年年度报告摘要年年度报告摘要 第一节第一节 重要提示重要提示 1 1 本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到划，投资者应当到上海证券交易所网站（上海证券交易所网站（）网站仔细阅读年度报告全文。网站仔细阅读年度报告全文。2 2 重大风险提示重大风险提示 公司已在本报告中详细阐述公司在生产经营过程中可能面临的各种风险，敬请查阅“第三节管理层讨

2、论与分析”之“风险因素”。敬请投资者注意投资风险。3 3 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性性、准确、准确性性、完整完整性性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。4 4 公司全体董事出席公司全体董事出席董事会会议。董事会会议。5 5 容诚会计师事务所（特殊普通合伙）容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。的审计报告。6 6 公司上市时未

3、盈利且尚未实现盈利公司上市时未盈利且尚未实现盈利 是 否 7 7 董事会决议董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案 公司于 2023 年 4 月 17 日召开的第二届董事会第十次会议审议通过了 关于公司 2022 年度利润分配及资本公积转增股本方案的议案,以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数，拟向全体股东每 10 股派发现金红利 4 元（含税），以此计算共计拟派发 37,047,359.60 元（含税）。拟以资本公积向全体股东每 10 股转增 4.8 股，不送红股。截至 2022 年 12 月 31 日，公司总股本为92,6

4、18,399 股，若以此为基数计算，公司拟合计转增 44,456,831 股，本次转增后公司总股本将增加至 137,075,230 股（最终转增股数及总股本数以中国证券登记结算有限公司上海分公司最终登记结果为准）。该利润分配及资本公积转增股本方案尚需公司 2022 年年度股东大会审议通过后方可实施。8 8 是否是否存在存在公司治理特殊安排等重要事项公司治理特殊安排等重要事项 适用 不适用 第二节第二节 公司基本情况公司基本情况 1 1 公司简介公司简介 公司股票简况公司股票简况 适用 不适用 公司股票简况 股票种类 股票上市交易所及板块 股票简称 股票代码 变更前股票简称 A股 上海证券交易所

5、科创板 芯源微 688037/公司公司存托凭证存托凭证简简况况 适用 不适用 联系人和联系方式联系人和联系方式 联系人和联系方式 董事会秘书（信息披露境内代表）证券事务代表 姓名 李风莉 刘书杰 办公地址 辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号 辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号 电话 024-86688037 024-86688037 电子信箱 2 2 报告期公司主要业务简介报告期公司主要业务简介(一一)主要业务、主要产品或主要业务、主要产品或服务服务情况情况 公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），可

6、用于 8/12 英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）及 6 英寸及以下单晶圆处理（如化合物、MEMS、LED 芯片制造等环节）。作为公司标杆产品，光刻工序涂胶显影设备系集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备，主要与光刻机（芯片生产线上最庞大、最精密复杂、难度最大、价格最昂贵的设备）配合进行作业，通过机械手使晶圆在各系统间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程。作为光刻机的输入（曝光前光刻胶涂覆）和输出（曝光后图形的显影），涂胶/显影机的性能不仅直接影响到细微曝光图案的形成，其显影工艺的图形质量和缺陷控制对后续诸多工艺（诸如蚀刻、离子注入等）