微导纳米：江苏微导纳米科技股份有限公司2023年年度报告摘要.PDF

1、公司代码：688147 公司简称：微导纳米 江苏微导纳米科技股份有限公司江苏微导纳米科技股份有限公司 20232023 年年度报告摘要年年度报告摘要 第一节第一节 重要提示重要提示 1 1 本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到划，投资者应当到 网站仔细阅读年度报告全文。网站仔细阅读年度报告全文。2 2 重大风险提示重大风险提示 公司已在报告中详细描述可能存在的相关风险，敬请查阅第三节 管理层讨论与分析“四、风险因素”部分内容。3 3 本公司董事会、监事会及

2、董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性性、准确、准确性性、完整完整性性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。4 4 公司全体董事出席董事会会议。公司全体董事出席董事会会议。5 5 天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。6 6 公司上市时未盈利且尚未实现盈利公司上市时未盈利且尚未实现盈利 是 否 7 7 董事会决议董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案通过的本报告期利

3、润分配预案或公积金转增股本预案 公司拟向全体股东每10股派发现金红利0.85元（含税）。截至第二届董事会第十二次会议通知日（2024年4月16日），公司总股本454,455,359股，以扣减回购专用证券账户中股份总数803,658股后的股本453,651,701股为基数，以此计算合计拟派发现金红利38,560,394.59元（含税）。如在本公告披露之日起至实施权益分派股权登记日期间，公司总股本发生变动的，拟维持每股分配比例不变，相应调整分配总额，并将另行公告具体调整情况。上述事项已经董事会审议通过，尚需提交股东大会审议。8 8 是否是否存在存在公公司治理特殊安排等重要事项司治理特殊安排等重要事

4、项 适用 不适用 第二节第二节 公司基本情况公司基本情况 1 1 公司简介公司简介 公司股票简况公司股票简况 适用 不适用 公司股票简况 股票种类 股票上市交易所及板块 股票简称 股票代码 变更前股票简称 人民币普通股（A股）上海证券交易所科创板 微导纳米 688147 不适用 公司公司存托凭证存托凭证简简况况 适用 不适用 联系人和联系方式联系人和联系方式 联系人和联系方式 董事会秘书（信息披露境内代表）证券事务代表 姓名 龙文 朱敏晓 办公地址 无锡市新吴区长江南路27号 无锡市新吴区长江南路27号 电话 0510-81975986 0510-81975986 电子信箱 2 2 报告期公司

5、主要业务简介报告期公司主要业务简介(一一)主要业务、主要产品或主要业务、主要产品或服务服务情况情况 公司已开发和正在开发的多款薄膜沉积设备，具体如下：1、半导体领域主要产品、半导体领域主要产品 产品系列产品系列 产品图示产品图示 产品说明产品说明 产业化产业化阶段阶段 iTomic 系列 原子层沉积镀膜系统 适用于高介电常数（High-k）栅氧层、MIM 电容器绝缘层、TSV 介质层等薄膜工艺需求。产品凭借原子级别的精确控制、沉积薄膜的高覆盖率和超薄膜厚的均匀性，可为逻辑芯片、存储芯片提供介质层等关键工艺解决方案，技术和设备指标达到国内一流、国际先进水平。产业化应用 iTomic MW系列批量

6、式原子层沉积镀膜系统 采用创新的批量型（mini-batch）腔体设计，可一次处理 25 片 12 英寸晶圆，适用于成膜镀率低，厚度要求高，以及产能要求高的关键工艺及应用。产品利用特有的流场设计，具有成膜速度快，占地面积小，产能高、使用成本低等优势，为存储芯片以及 Micro-OLED 显示器、MEMS 等提供定制化量产的解决方案。产业化应用 iTomic Lite系列轻型原子层沉积镀膜系统 产品采用原创设计开发的自动化平台与模块化 ALD 反应腔相结合，可以按需配置 PEALD或 Thermal ALD 等工艺需求。产品具有强大的兼容性，其硬件配置在保持量产机型强大功能的前提下，可满足各类晶