1、友威科技股份有限公司UVAT Technology Co.,Ltd.抬头显示器HUD镀膜技术应用介绍Data:202408152简报内容 关于友威 为何需要真空镀膜 PVD溅镀技术原理 AR_HUD高反射镀膜技术关于友威关于友威友威科技成立于 2002 年,实收资本额四亿新台币,集合一群多年真空经验的团队,积极投入真空溅镀 Sputter 及干式蚀刻 Dry etching 制程技术系统。与客户共同开发新制程技术应用,研究薄膜特性、制程硬件开发、提供样品测试、量产系统规画、结合自动化设计,并有专业团队可提供满足客户全方位一条龙的服务需求。友威科技服务产业跨足通讯电子产业、汽车产业、太阳能产业、
2、光学产业、半导体IC产业、高阶板级封装产业、触控产业、生物科技产业、LED产业等友威简介成立时间2002/11/04董事长李原吉 博士资本额1,230万美金集团员工480人服务项目真空溅镀系统真空干式蚀刻系统半导体设备相关耗材镀膜代工服务客服业务 2007 Forbes Asia 200家最佳中小企业奖 2010年7月9日股票上市(友威科:代号3580)6干制程解决方案商濺鍍Sputter 電漿蝕刻Plasma Etch7荣获2021台湾精品奖友威科技在真空溅镀已累积长久的经验与技术,包括机械设计本身、制程参数、乃至于后续客户端的薄膜性能需求、大数据分析,藉由此智能机械的设计,提供业界一套省时
3、省力的解决方案。本项产品之关键技术模块包含了高温 degas 智能回路系统、低温 PVD 智能监控系统、Pre-clean(预处理)系统、Particle 抑制系统、钛铜溅镀技术镀膜参数的优化,如此完整的设备,才能快速的推入真空镀膜市场。集团据点TaichungChongqing研发中心 台中设备制造中心 台中售后服务据点 桃园 深圳 重庆 马来西亚ShenzhenTaoyuan真空系统核心产品溅镀系统(Sputter)干式蚀刻系统(Dry Etcher)ARDecorationFunctionAF/ASTouch Panel,LensLogo,Housing,Key padFilter ,P
4、olarizerTouch Panel,Lens,HousingColor FilmColor Coordinate光学镀膜应用消费性电子镀膜应用Electronic productPlastic metallization decoration NCVM Process5G Phone back coverEMI shieldingCase of LaptopCCD Holder System In Package高阶IC先进封装应用Plasma EtcherTi/Cu Seed Layer Dry EtchSeeding SputterTi/CuThermal DissipationTi/
5、Ni/Ag,Ti/Ni/AuSIP EMISus/Cu/Sus汽车镀膜应用Cr mirrorBlue mirrorLCD mirrorWheel discDecoration partsAR CoatingGood uniformityReproducibilityGreen processEnergy-saving and pollution-free本页图片来源于网络为何需要真空镀膜16真空镀膜的目的a thin coating on to a substrate为什么需要进行真空镀膜呢?镀膜工艺已经成为了各项产品元器件制造中的一项不可或缺的技术,主要是为了使产品表面具有外观、导电、耐磨损
6、、耐高温、耐腐蚀等优于产品本身的性能,从而提高产品的质量,延长加工产品的使用寿命,不仅如此,还可以节约能源,获得更为显着的技术经济效益。本页图片来源于网络17真空镀膜的附加价值硬膜技术大幅增加使用寿命IC工业微细导电线路光学镀膜的工业革命自动驾驶改变世界本页图片来源于网络18真空镀膜的种类PVD溅镀技术原理何谓PVDPhysical Vapor Deposition 物理气相沉积Metal(Cr,Au,Ni,Fe,Ti,Cu,Pt,)Alloy(FeNi,TiNi,)TiN,TiWOxide(SiO2,AI2O3,)Nitride(AIN,SiN,)AI