1、半导体前道半导体前道量检测设备行业报告（二）：量检测设备行业报告（二）：先进制程关键设备，电子束检测正崛起先进制程关键设备，电子束检测正崛起评级：推荐(维持)证券研究报告2024年06月25日专用设备姚健(证券分析师)杜先康(证券分析师)S0350522030001S 沪深300表现表现1M3M12M专用设备-9.3%-12.6%-18.9%沪深300-3.5%-1.9%-10.0%最近一年走势相关报告半导体前道量检测设备行业报告：重点产品持续突破，国产替代正在加速（推荐）*专用设备*杜先康，姚健2024-01-19-31%-23%-16%-9%-1%6%2023/06/262023/09/2

2、42023/12/232024/03/222024/06/20专用设备沪深300 请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明3重点关注公司及盈利预测重点关注公司及盈利预测重点公司代码股票名称2024/06/24EPSPE投资评级股价20232024E2025E20232024E2025E300567.SZ精测电子57.470.541.001.45106.4357.4739.63买入688012.SH中微公司147.512.883.304.2151.2244.7035.04未评级688361.SH中科飞测52.950.440.630.95120.3484.0555.74未评级东方晶源资料来源：iF

3、inD资讯，国海证券研究所 未评级公司盈利预测取自iFinD一致预期 请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明4核心提要核心提要u 电子束检测是先进制程关键设备电子束检测是先进制程关键设备随着集成电路工艺节点减小，缺陷尺寸减小、缺陷密度增加、漏检风险逐渐提升，受益加速电压下的波长优势，电子束检测技术精度较高，且对于电性缺陷具有独特的识别能力。先进制程及其配套产业链或将成为大基金三期的重点发力方向，半导体前道量检测设备目前国产化率仅个位数，电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障，未来有望加速发展。u 国内电子束检测设备市场有望快速发展国内电子束检测设备市场有望快速发展我们测算，2024/20

4、25年全球半导体量检测设备市场空间分别为159/196亿美元，中国大陆半导体量检测设备市场空间分别为55/68亿美元，全球电子束量检测设备市场空间分别约为25/34亿美元，其中，电子束关键尺寸量测市场空间分别为11/15亿美元，电子束缺陷检测市场空间分别为6/8亿美元，电子束缺陷复查设备市场空间分别为8/10亿美元。u 电子束检测设备国产替代空间广阔电子束检测设备国产替代空间广阔根据VLSI数据统计，2023年全球半导体量检测设备行业CR5超过84%，主要供应商包括KLA、应用材料、日立等，其中柯磊半导体市占率高达55.8%。电子束检测设备方面，根据应用材料数据统计，2021年应用材料、日立、

5、阿斯麦、KLA等企业的全球市占率分别为50%、28%、15%、6%，电子束检测设备国产供应商较为稀缺。u 投资建议：关注本土设备商产品进展投资建议：关注本土设备商产品进展电子束检测设备国产替代有望加速，维持半导体前道量检测设备行业“推荐”评级。建议关注精测电子、东方晶源（未上市）、中微公司、中科飞测。1）精测电子：半导体产品持续完善，明场检测持续发展，DR-SEM国内领先；2）东方晶源（未上市）：聚焦电子束检测、计算光刻等产品，CD-SEM应用广泛，积极布局DR-SEM；3）中微公司：刻蚀设备国内领跑者，加速布局量检测赛道，或将发力电子束检测市场；4）中科飞测：聚焦半导体量检测，产品种类持续丰

6、富。u 风险提示风险提示：半导体设备国产替代不及预期；行业竞争加剧风险；市场空间测算偏差风险；重点关注公司业绩不及预期；研究报告使用的公开资料可能存在信息滞后或更新不及时的风险。请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明5目录目录p 1 1、电子束检测是先进制程关键设备、电子束检测是先进制程关键设备p 2 2、国内电子束检测设备市场有望快速发展、国内电子束检测设备市场有望快速发展p 3 3、电子束检测设备国产替代空间广阔、电子束检测设备国产替代空间广阔p 4 4、风险提示与投资建议、风险提示与投资建议 请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明61 1、电子束检测是先进制程关键设备电子束检测是先进