1、 1/28 2024 年年 4 月月 19 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 行业研究报告 慧博智能投研 国产替代系列五：电子特气市场空间广阔，国产替代系列五：电子特气市场空间广阔，国产替代如火如荼国产替代如火如荼 电子特气是指运用在特定领域中，对产品种类、纯度、配方、性质等有特殊要求的气体（纯度一般大于 5N），广泛应用于半导体、平板显示及其它电子产品的生产过程，是电子工业生产中不可或缺的关键性原材料。电子特气核心技术指标为超纯化和混配工艺，其中大规模集成电路对气体纯度的要求高达 6N 及以上，同时，气体的杂质含量也要低于 1 10-7，技术壁垒极高。从当前全球电子特气市场的角度来

2、看，目前行业呈现出高技术壁垒和高附加值的特征，未来随着下游应用的不断升级与迭代，高端电子特气需求将呈现出爆发式增长。从国内电子特气市场的角度来看，我国电子特气行业呈现高端产能不足，进口依赖严重的状况，这在一定程度上给我国电子特气产业带来了较大的国产替代机遇。未来率先布局高端产能，拥有丰厚技术储备的企业有望在产业链的爆发中占据先机，迎来更大的发展空间。下面我们继续沿着国产替代系列视角，对国内电子特气行业的国产替代进行分析。电子特气在半导体制造中，处于什么样的地位？其本身成长性如何？未来驱动该行业发展的因素有哪些？有着怎样的行业壁垒？及对于当下亟需破局的国产替代部分，面临着怎样的市场环境？市场格局

3、如何？我国企业在国产替代上，有哪些突破？在解决上述问题的同时，我们还将立足中外行业发展的视角，对国内外行业概况进行分析，并以借鉴海外先进经验的出发点，对国内行业发展的破局之路进行分析。此外，我们还将对相关企业当前发展及未来行业前景进行分析，以试图全面阐述电子特气发展面貌，对大家了解相关内容有所启发。目录目录 一、行业概况.1 二、驱动因素.4 三、行业壁垒.8 四、国产替代.10 五、破局之路.16 六、相关企业.20 七、发展展望.26 八、参考研报.27 一、行业概况一、行业概况 1、半导体制造的关键原材料，产品种类繁多半导体制造的关键原材料，产品种类繁多 2/28 2024 年年 4 月

4、月 19 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 电子特气是半导体材料制造的关键原材料，下游应用领域广泛电子特气是半导体材料制造的关键原材料，下游应用领域广泛。工业气体是工业中使用的常温常压下呈气态的物质，广泛应用于现代工业的各个领域，根据其用量大小可以分为大宗气体和特种气体两类，其中大宗气体又可分为空分气体（氧气、氮气、氩气及稀有气体）和合成气体（CO/H2、乙炔、CO2等），特种气体根据用途不同可分为电子特种气体、医疗保健用气体、食品饮料用气体、航天用气体等。电子气体种类繁多，按照用途划分为电子特种气体和电子大宗气体两类电子气体种类繁多，按照用途划分为电子特种气体和电子大宗气体两类。电

5、子大宗气体一般用作电子工业生产的环境保护气、载气等，常用于高温热退火、保护气体、清洗气体等环节。电子特种气体普遍应用于半导体芯片、液晶面板材料制造等各个工艺流程中，比如清洗、沉积、光刻、刻蚀、离子注入、成膜、掺杂等环节。截至 2020 年，仅特种气体中的单一组分气（不包含混合气）已有 260 种，具有相近化学组成的同系物通常具有相似化学性质：例如氟化物（六氟乙烷、三氟化碳）都具有腐蚀性，常用作半导体刻蚀气；硅烷与乙硅烷都可用作气相沉积成膜工艺。QVlYlXfXeXoW9YmWhZ9UpN6MaO7NmOoOoMrNlOmMtPfQoMmO6MqQuNvPtOnQwMnQoQ 3/28 2024

6、 年年 4 月月 19 日日 行业行业|深度深度|研究报告研究报告 电子特气主要应用于半导体领域，在刻蚀和掺杂工艺中使用占比较高电子特气主要应用于半导体领域，在刻蚀和掺杂工艺中使用占比较高。电子特种气体具有高技术、高附加值的特点，是半导体、液晶显示面板、光伏、LED 等电子工业生产中必不可少的基础和支撑性原材料，被广泛应用于清洗、光刻、刻蚀、掺杂、外延沉积等工艺中。根据 Linx 统计，全球电子特气下游应用市场中半导体占比为 73.1%，显示面板为 19.4%，化合物半导体/LED 为 4.4%，光伏为 3.1%；中国电子特气下游应用市场中半导体、显示面板、光伏分别占比 43%、21%、13%