1、1 公司报告公司报告公司深度研究公司深度研究 请务必阅读报告末页的重要声明 芯源微芯源微(688037)(688037)涂胶显影设备涂胶显影设备龙头，龙头，新品持续迭代突破新品持续迭代突破 投资要点：投资要点：公司是国内领先的半导体湿法设备企业，并且涂胶显影设备在国内率先量产，打破了海外的长期垄断，未来有望深度受益国产晶圆厂扩产。目前目前国内国内 TRACKTRACK 设备设备规模近规模近 1 10 0 亿美元，长期被日企垄断亿美元，长期被日企垄断 TRACK 设备是光刻工序核心设备之一，负责涂胶显影等工艺。根据Gartner 数据测算，2020 年中国大陆半导体 TRACK 设备销售额为 7

2、.1 亿美元，预计 2023-2024 年中国大陆半导体 TRACK 设备为 10.1 亿美元、11.6亿美元。从供给端来看，全球和国内市场均被日本 TEL、DNS 垄断了大部分市场，国产厂商目前仅芯源微 TRACK 设备实现了量产，具有较大的替代空间。TRACKTRACK 设备率先量产并取得重复订单设备率先量产并取得重复订单 公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，目前已完成在前道晶圆加工环节 28nm 及以上工艺节点的全覆盖，并持续向更高工艺等级迭代。此外，公司第三代浸没式高产能涂胶显影设备平台架构 FT300（）发布后在客户端导入进展良好，同时未来可作为通用性架构全面向下兼容

3、 ArF、KrF、I-line、offline 等工艺。订单方面，2022 年公司新签订单 22 亿元，其中包括 TRACK 设备的重复订单，这预示公司打破了海外厂商垄断的格局，未来有望受益国产晶圆厂的持续扩产。盈利盈利预测、估值与评级预测、估值与评级 我们预计公司 2023-2025 年营业收入分别 18.89/26.03/35.35 亿元，同比增速分别为 36.40%/37.81%/35.80%；归母净利润分别为 3.29/4.87/6.99亿 元，同 比 增 速 分 别 为64.49%/47.87%/43.51%，EPS分 别 为2.39/3.53/5.07 元/股，3 年 CAGR 为

4、 51.70%。绝对估值法测得公司每股价值为 183.21 元，可比公司 2024 年平均 PE 42 倍，鉴于公司是国内率先量产前道 TRACK 设备的企业，综合绝对估值法和相对估值法，我们给予公司2024 年 52 倍 PE，目标价 183.68 元。首次覆盖，给予“买入”评级。风险提示：风险提示：下游 Fab 扩产不及预期；TRACK、清洗设备研发不及预期；零部件采购受限的风险；股权分散，无控股股东、实际控制人的风险。财务数据和估值财务数据和估值 20212021 20222022 2023E2023E 2024E2024E 2025E2025E 营业收入（百万元）829 1385 18

5、89 2603 3535 增长率（%）151.95%67.12%36.40%37.81%35.80%EBITDA（百万元）89 252 447 644 897 归 母 净 利 润（百 万元）77 200 329 487 699 增长率（%）58.41%158.77%64.49%47.87%43.51%EPS（元/股）0.56 1.45 2.39 3.53 5.07 市盈率（P/E）260.7 100.7 61.2 41.4 28.9 市净率（P/B）22.5 9.6 8.6 7.5 6.3 EV/EBITDA 159.5 54.1 43.5 29.7 20.6 数据来源：公司公告、iFinD，

6、国联证券研究所预测；股价为 2023 年 11 月 24 日收盘价 证券研究报告 2023 年 11 月 25 日 行行 业：业：电子电子/半导体半导体 投资评级：投资评级：买入（首次）买入（首次）当前价格：当前价格：146.30 元 目标价格：目标价格：183.68 元 基本数据基本数据 总股本/流通股本(百万股)137.83/137.83 流通 A 股市值(百万元)20,164.43 每股净资产(元)16.87 资产负债率(%)44.63 一年内最高/最低(元)337.01/119.28 股价相对走势股价相对走势 作者作者 分析师：熊军 执业证书编号：S0590522040001 邮箱：