2023我国电子特气行业市场规模、国产替代空间及龙头企业分析报告.pdf

1、2023 年深度行业分析研究报告 正文目录正文目录 1 电子特气：电子工业的血液电子特气：电子工业的血液.4 1.1 受益集成电路产业发展，电子特气有望快速成长.4 1.2 电子特气是集成电路第二大耗材，应用在各工艺生产环节.7 2 预计预计 2023 年中国电子特气市场规模年中国电子特气市场规模 249 亿元，受益晶圆厂扩张、光伏装机高增，预计亿元，受益晶圆厂扩张、光伏装机高增，预计 2023-2025年行业复合增速年行业复合增速 13%.11 2.1 集成电路国产化，电子特气需求持续上升.11 2.2 显示面板市场：面板价格回暖，行业有望复苏.14 2.3 光伏市场：多晶料价格下降催生 2

2、023 年光伏装机显著增长，光伏用电子特气将持续收益.14 3 中国电子特气从进口替代到供应全球中国电子特气从进口替代到供应全球.15 3.1 行业壁垒高：技术壁垒、市场拓展壁垒、资金壁垒.15 3.2 国产替代空间大，部分气体世界级、中国造.16 3.3 三氟化氮、六氟化钨与六氟丁二烯为电子特气使用量最大的三种气体.19 3.4 海外空间广阔：以三氟化氮及六氟化钨为例.20 4 投资建议投资建议.22 4.1 杭氧股份：工业气体龙头，国产替代、产品升级、治理改善、资产整合.23 4.2 侨源股份：民营气体领军企业，受益光伏锂电等新能源产业崛起.23 4.3 华特气体：电子特气先行者；拓品类、

3、切合成，盈利能力提升.24 4.4 凯美特气：电子特气新星，光刻气体取得 ASML 认证.24 4.5 陕鼓动力：民族工业气体领军企业，压缩空气储能打造新增长引擎.25 5 风险提示风险提示.26 ZZoZXZSWlVzWaQ9R7NnPmMmOnOiNmMwOlOpPsRbRmMzQwMoMpQwMnPoM 图表目录图表目录 图 1：工业气体可分为大宗气体与特种气体.4 图 2：电子特气位于产业链中游.4 图 3：2021 年中国电子特气下游需求中，集成电路、显示面板占比分别为 43%、21%.4 图 4：中国电子特种气体市场大致可分为四阶段.6 图 5：电子气体是半导体制造的第二大耗材，占

4、比 14%.7 图 6：电子特种气体在集成电路生产工艺中的应用示意图.7 图 7：清洗工艺中使用了大量的三氟化氮对受污染的腔室进行清理.8 图 8：在成膜工艺中使用六氟化钨等气体产生沉积薄膜.8 图 9：光刻工艺流程示意图.9 图 10：氟碳类与卤素类气体被用于刻蚀工艺中清除硅片表面的光刻胶.9 图 11：掺杂工艺流程示意图.10 图 12：预计 2023 年全球电子特气市场规模为 51 亿美元，2023-2025 年复合增速 8%.11 图 13：预计 2023 年中国电子特气市场规模为 249 亿元，2023-2025 年复合增速 13%.11 图 14：2023 年全球 300mm 晶圆

5、厂产能扩张将放缓.12 图 15：2021-2025 年全球 200mm 晶圆厂产能复合增速 4%.12 图 16：2022 年中国 300mm 晶圆产能为 152 万片/月，全球市占率 22%.12 图 17：预计 2022 年中国 200mm 晶圆产能为 132 万片/月，全球市占率 21%.12 图 18：2020 年中国拥有 15%半导体制造产能，预计将于 2023 年提升至 24%.13 图 19：预计至 2025 年中国集成电路用电子气体规模为 134 亿元，四年复合增速 12%.13 图 20：面板价格持续回暖（美元/片）.14 图 21：预计 2023 年中国示面板行业市场规模

6、为 112 百万平米.14 图 22：多晶硅致密料价格持续下跌.15 图 23：2023 年 1-2 月国内新增装机 20GW，同比增长 88%.15 图 24：2020 年全球电子特气市场 CR4 为 48%.16 图 25：2020 年中国电子特气市场 CR4 为 86%.16 表 1：按照气体所含化学成分，电子气体（含电子大宗以及电子特种气体）可分为掺杂气、等离子蚀刻气、化学气相沉积气等十余类.5 表 2：按照气体所含化学成分，电子特气可分为含氟气体、含硅气体、含硼气体、含锗气体、氢化物气体等.5 表 3：5N 及以上纯度气体主要用于大规模、超大规模与特大规模集成电路.15 表 4：我国