1、 1|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 公司深度研究公司深度研究|微导纳米微导纳米 ALD 设备领军者，向光伏、半导体延伸布局 微导纳米（688147.SH）首次覆盖报告 核心结论核心结论 公司评级公司评级 买入买入 股票代码 688147.SH 前次评级-评级变动 首次 当前价格 43.01 近一年股价走势近一年股价走势 分析师分析师 杨敬梅杨敬梅 S0800518020002 021-38584220 相关研究相关研究 深耕深耕 ALD 技术领域技术领域，向光伏、半导体领域延伸。，向光伏、半导体领域延伸。公司于 2015 年成立，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发生产和销售

2、，基于 ALD 技术向光伏、半导体领域扩展。全球首创将 ALD 技术规模化应用于光伏领域，在 PERC、TOPCon、XBC 以及钙钛矿领域均实现出货；在半导体领域，公司产品可应用于逻辑、存储、3D-IC 等镀膜制造领域。光伏光伏 N 型电池技术型电池技术加速渗透，公司有望深度受益。加速渗透，公司有望深度受益。光伏领域，公司基于深厚技术积累已研发出 ALD、PECVD、PEALD、扩散炉等多款光伏设备产品，并持续推进以 ALD 为核心的 TOPCon 整线方案。伴随 TOPCon、HJT、XBC技术等N型电池加速渗透，我们预计2025年公司设备市场空间有望达405.9亿元，22-25 年 CA

3、GR=78%。公司光伏镀膜设备性能参数领先，已覆盖隆基、通威、晶科、天合、晶澳等龙头厂商，形成长期合作关系，有望充分受益 N 型电池大规模扩产。半导体半导体设备市场快速增长，设备市场快速增长，国产替代空间广阔国产替代空间广阔。逻辑芯片领域，公司在国内首次成功将 High-k 原子层沉积设备应用于 28nm 集成电路制造前道量产线，打破垄断；存储芯片领域，公司 ALD 设备在高 K 栅电容介质层、介质覆盖层、电极、阻挡层等工艺中的优势使其被广泛应用于 DRAM、3D-NAND、新型存储器等半导体制造领域。我们预计 2025 年国内 ALD 设备市场空间有望达 126.6 亿元，22-25 年 C

4、AGR=24%。公司半导体 ALD 产品可沉积金属薄膜，相比沉积非金属薄膜为主的拓荆科技等其他国内厂商具有差异化优势，有望在逻辑、存储、3D-IC 等领域快速渗透。投资建议：投资建议：预计公司 23-25 年归母净利润分别为 1.3/3.13/5.46 亿元，同比+139.4%/+141.5%/+74.6%。考虑到公司作为国内 ALD 设备龙头，光伏、半导体业务持续放量，给予公司 24 年 75xPE，目标价 51.75 元，首次覆盖给予“买入”评级。风险提示：光伏装机不及预期；新技术渗透不及预期；新产品研发不及预期 核心数据核心数据 2021 2022 2023E 2024E 2025E 营

5、业收入（百万元）428 685 1,546 3,275 4,379 增长率 36.9%60.0%125.8%111.9%33.7%归母净利润(百万元)46 54 130 313 546 增长率-19.1%17.4%139.4%141.5%74.6%每股收益（EPS）0.10 0.12 0.29 0.69 1.20 市盈率（P/E）423.9 361.0 150.8 62.4 35.8 市净率（P/B）22.1 10.0 9.3 8.1 6.6 数据来源：公司财务报表，西部证券研发中心 -48%-23%2%27%52%77%102%2022-092023-012023-05微导纳米光伏加工设备沪

6、深300证券研究报告证券研究报告 2023 年 09 月 28 日 公司深度研究|微导纳米 西部证券西部证券 2023 年年 09 月月 28 日日 2|请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 索引 内容目录 投资要点.5 关键假设.5 区别于市场的观点.5 股价上涨催化剂.5 估值与目标价.5 微导纳米核心指标概览.6 一、深耕 ALD 技术领域，聚焦半导体与光伏领域.7 1.1、以 ALD 技术为核心，向半导体与光伏领域布局延伸.7 1.2、公司业绩持续向好，盈利水平行业领先.11 1.3、股权结构稳定，核心员工绑定公司发展.14 二、光伏领域：N 型电池技术革新，ALD 设备龙头有望