1、敬请参阅最后一页特别声明 1 公司业务覆盖高纯工艺系统综合解决方案以及配套工程、厂务托管和后续运营维保等服务。公司下游覆盖泛半导体、生物医药等领域，中芯国际、京东方、扬子江药业等行业龙头均为公司客户。公司新签订单保持高速增长，公司新签订单保持高速增长，高纯工艺系统高纯工艺系统业务基本盘稳固业务基本盘稳固。我们认为公司的传统业务高纯工艺设备将持续高增长，主要基于：1）下游 FAB、IDM 客户新建厂房未受影响，公司在手订单饱满，22年公司合同负债为 2.70 亿（YoY+13%），1Q23 合同负债达 3.03亿元（YoY+23%）；2）国际贸易制裁加速半导体设备及零部件国产化进程，公司下游客户

2、多元且需求稳定，根据公司公告，22 年公司新签订单 42 亿元（YoY+31%），23 年公司预计全年新签订单 5257 亿元，同比增长 24%36%。半导体制程设备半导体制程设备品类丰富并向先进制程拓展品类丰富并向先进制程拓展，切入光伏领域获得切入光伏领域获得批量订单批量订单。制程设备为公司带来新增长主要基于：1）根据中国国际招标网数据，22 年中国湿法设备市场前四大供应商份额合计达96%，其中盛美上海以 25%的份额位列第二，其他三家均为海外厂商；2）22 年公司率先突破 14nm 及以下制程湿法设备并实现 4台订单交付，拓展了国内光伏市场需求较大的涂胶显影设备、炉管设备等；3）公司制程设

3、备主要客户中芯国际、华润微 22 年用于购建固定资产、无形资产以及其他长期资产支付的现金分别同比增长 49%和 69%。公司 22 年新增制程设备订单 18 亿元，同比增长 60%，预计 23 年新增订单 2025 亿，同比增长 11%39%。定向增发彰显公司长期发展信心定向增发彰显公司长期发展信心。23 年 5 月，公司定向增发拟募集资金不超过 18 亿，用于湿法设备核心零部件产业化项目、湿法设备及高纯工艺设备北方基地项目、启东半导体设备产业化项目。预测 20232025 年公司将分别实现营收 42.0/53.2/64.4 亿元，同比+37.7%/26.7%/21.1%，考虑到公司高纯工艺系

4、统业务行业领先，半导体制程设备放量在即，给予公司 2024 年 35xPE，目标价 51.1 元/股，首次覆盖，给予“买入”评级。供应链风险；下游资本开支不及预期的风险；股东质押的风险；限售股解禁的风险。05001,0001,5002,00026.0030.0034.0038.0042.00220706人民币(元)成交金额(百万元)成交金额至纯科技沪深300公司深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 2 内容目录内容目录 一、国内领先的高纯工艺系统供应商，工艺、设备、材料业务多元发展.4 1.1 以高纯工艺系统为基础平台化发展的综合解决方案供应商.4 1.2 公司运营情况良好，期间费用略有上升研发

5、力度进一步加大.6 二、系统集成业务在手订单饱满，构建公司稳固的基本盘.7 2.1 高纯工艺系统下游覆盖面广，终端固定资产投资拉动行业需求增长.7 2.2 高纯工艺系统国产替代空间广阔，公司掌握核心技术优势明显.11 2.3 绑定下游优质客户，提供全面系统性的高纯介质供应解决方案.13 三、全球半导体设备行业集中度高，中国湿法设备供应商正加速追赶.15 3.1 中国半导体设备市场占比全球第一，国内湿法设备企业份额仍有较大提升空间.15 3.2 半导体制程升级迭代，清洗设备需求快速放量.16 3.3 公司新签订单保持高增长，定向增发扩充产能抢占市场份额.20 四、盈利预测与投资建议.22 4.1

6、 盈利预测.22 4.2 投资建议及估值.23 五、风险提示.24 图表目录图表目录 图表 1：公司产品布局及下游应用领域.4 图表 2：公司主要生产制造基地和研发服务中心布局.5 图表 3：公司历史营收及增速情况.5 图表 4：公司历史归母净利润及增速情况.5 图表 5：2022 年公司主营业务收入构成.6 图表 6：2022 年公司主营业务毛利构成.6 图表 7：公司销售毛利率和扣非后销售净利率情况.6 图表 8：公司应收账款周转天数.7 图表 9：公司存货周转天数.7 图表 10：公司期间费用率情况.7 图表 11：公司累计申请专利数.7 图表 12：高纯工艺系统在厂房中的分布示意图.8