芯源微-公司研究报告-涂胶显影突破垄断尽享充裕市场空间-230606（31页）.pdf

1、 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 涂胶显影突破垄断，尽享充裕市场空间 芯源微(688037)主要观点主要观点:芯源微 2022 年营收增长 67.12%，三年复合增长率约为 87.3%，我们认为公司作为国内涂胶显影设备和单片式湿法设备头部企业，将在半导体设备国产化的趋势下快速发展。涂胶显影设备国内厂商独家，突破日系厂商垄断涂胶显影设备国内厂商独家，突破日系厂商垄断 根据中商产业研究院，当前中国大陆涂胶显影市场日本厂商TEL、DNS 占据了超过 95%市场，芯源微是国内唯一上榜的企业。根据公司年报，2022 年公司前道涂胶显影机签单实现了快速放量，其中 offline、I-line、KrF

2、 机台均实现批量销售，完成晶圆加工环节 28nm 及以上工艺节点全覆盖。随着公司产品的不断成熟，同时叠加国际贸易的不确定性增强，国内越来越多的晶圆厂正在加速公司前道涂胶显影机的导入进程。我们认为芯源微在涂胶显影技术处于国内领先，并不断升级精进，涂胶显影设备一般与光刻机紧密配合，积累的技术经验也是芯源微重要的竞争壁垒。面对广阔的市场空间，涂胶显影设备国内市场份额有望实现快速提升。前道物理清洗行业领先，化学清洗持续研发前道物理清洗行业领先，化学清洗持续研发 芯源微前道单片式物理清洗设备可用于 28 nm 及以上工艺节点，凭借其高产能、高颗粒去除能力、高性价比等优势受到下游客户的广泛认可，并确立了市

3、场领先优势。目前在清洗领域化学清洗占主流。芯源微尝试拓展产品线，在化学清洗品类寻求突破，研发在 28nm 以下工艺节点的应用。我们认为芯源微在巩固物理清洗的基础下，积极探索更广阔的化学清洗市场，打开了未来成长空间。在手订单充足，扩产有望与需求同时放量在手订单充足，扩产有望与需求同时放量 据公司公告，2022 年底，芯源微已有约 5.84 亿元合同负债，在公司产能近乎维持满产情况下，合同负债大幅增加表明公司在手订单量充足。根据公司公告，2022 年芯源微新签订单 22 亿元，我们认为，下游厂商持续扩产有利于芯源微获得持续批量订单。根据公司官网显示，上海临港厂区将于 2023 年第四季度竣工。我们

4、认为，届时公司产能将大幅提高，外加下游厂商设备需求量旺盛，在手订单及新签订单将实现快速放量，营业收入有望同步放量增长。投资建议投资建议:评级及分析师信息 Table_Rank 评级：评级：增持 上次评级：首次覆盖 目标价格：目标价格：最新收盘价：289.4 Table_Basedata 股票代码：股票代码：688037 52 周最高价/最低价：337.01/129.46 总市值总市值(亿亿)268.77 自由流通市值(亿)268.77 自由流通股数(百万)92.87 Table_Pic 分析师：刘奕司分析师：刘奕司 邮箱： SAC NO：S1120521070001 联系电话：-16%7%29

5、%52%75%98%2022/062022/092022/122023/03相对股价%芯源微沪深300Table_Date 2023 年 06 月 06 日 仅供机构投资者使用 证券研究报告|公司深度研究报告 170939 证券研究报告|公司深度研究报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 2 我们认为涂胶显影和清洗设备将为芯源微未来主要的营收增长点。公司在涂胶显影市场拥有强大的竞争力，当前国内市场被日系厂商占据绝大部分市场，未来芯源微有充分替代空间。清洗设备进军更广阔的化学清洗市场，有望实现放量增长。1.涂胶显影设备 根据公司年报，2019-2022 年公司光刻工序涂胶显影设备营收复合增长

6、高达 89%，我们认为芯源微本身具备国内领先的涂胶显影技术水平并不断提升，国内拥有大量的替代空间，看好营收持续快速增长。2.清洗设备 根据公司年报，2019-2022 年公司单片式湿法设备营收复合增长高达 79%，其中清洗设备为重要的一部分。我们认为芯源微在单片式物理清洗设备已经取得一定成绩，在拓展化学清洗市场后，有望实现更快的增长。预计公司 2023 年-2025 年分别实现收入为 18.99 亿元、28.14 亿元和 38.81 亿元，分别实现归母净利润为 2.68 亿元、3.94 亿元和 5.23 亿元，对应 EPS 分别为 2.88 元、4.24 元和 5.63 元，对应 2023 年