1、洁净室专题：AI先进制程发展下半导体资本开支扩张，洁净室下游高景气延续【投资要点】洁净室：上游供应稳定、国产化率提升，下游高景气。洁净室是将空气中的微粒子等微污染物排除，并将室内的洁净度等控制在需求范围内而特别设计的空间。其上游主要为FFU、过滤器、AMHS系统等材料和设备，多数产品为标准化产品，供应充足，国内品牌逐步占领主导地位（FFU供应商美埃科技2019-22三年市占率提升25%+至30%)）。下游方面，洁净室客户主要为集成电路、光伏、显示面板、医药、食品等厂商，2022年电子信息类洁净室市场规模为1305亿元，占比54.2%_textmdo。而半导体集成电路对洁净度的要求最高，供应壁垒

2、较高，头部洁净室厂商有望受益半导体洁净室需求提升。洁净室需求：海外景气度持续向上，国内自主可控背景下资本开支持续扩张。根据德勤预测，2026年全球半导体市场规模有望在AI需求的增长带动下同比+26.3%，其中生成式AI芯片占比有望达50%。在此背景下2026年全球300mm晶圆厂设备支出预计将增长12%至1305亿美元，其中中国未来4年将保持每年300亿美元以上的投资规模出。拆分各地资本开支计划来看，1）北美：CHIPS法案十年投入2800亿美元，约767亿美元用于半导体行业，带动半导体产业回流。头部厂商英特尔/台积电/三星/美光/德州仪器，计划投资约1265/1650/400/1150/18

3、0亿美元。2）东南亚：美光、英飞凌等厂商直接投资，如美光将在新加坡投资240亿美元建造新厂，预计将新增6.5万平方米洁净室面积，同时马来西亚、越南封测产业完备，未来半导体产业有望增长。3）国内：自主可控背景下，国内厂商资本开支有望提升。根据Yole整理，2025-2030年中国大陆仍将新建21个fab，而长鑫、长存的上市或为其带来进一步资本开支扩张的资金支持。经统计中芯国际上海12寸晶圆厂、天津12寸晶圆厂、深圳12寸晶圆厂二期仍在建设中；长鑫存储仍在推进DRAM三期、上海HBM封装厂等项目；长江存储3DNAND四+五期仍未建设。洁净室供给：先进制程提升洁净室供应壁垒，客户绑定+项目经验构筑核

4、心壁垒。先进制程存储芯片生产所需的洁净室已达到ISO1级标准，供应壁垒进一步提升；而洁净室核心工程师的培养周期长（通常为2-3年），短期内无法快速补充人才缺口，洁净室短期供应处于供不应求。同时洁净室整体工程+维护期期限在1年以上，工程期限整体较长、和业主方绑定较深，当前头部厂商中台资企业汉唐集成深度绑定台积电；亚翔工程绑定联电、美光；圣晖集成绑定台积电、日月光等。而中资企业中头部厂商柏诚股份绑定中芯国际、长鑫、长存等；深桑达（中电二、中电四）深度绑定中芯国际、英特尔等。头部企业具备客户粘性强、项目经验丰富的核心壁垒，同时有望随业主方赴美、新加坡等海外地区进一步拓展市场。强于大市（维持）东方财富

5、证券研究所相关研究【配置建议】我们看好洁净室行业在高需求和供给刚性背景下延续高景气度，建议关注出海进程有望加速的台资头部企业【亚翔集成】、【圣晖集成】，布局数据中心等高景气下游、26年订单高增的内资头部企业【柏诚股份】，同时建议关注【深桑达A】以及洁净室上游FFU等材料供应商【美埃科技】。【风险提示】回款不及预期。洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害气体、细菌等微污染物排除，并将室内的洁净度、温度、湿度、压力、气流速度与流向、噪音、电磁干扰、微振动、照度、静电等控制在某一需求范围内，而给予特别设计的空间。(divcenter)图表1：洁净室用途(/divcenter)1.2.产业链：

6、上游供给稳定、国产化率提升；下游需求呈现高景气上游：材料及设备，供应充足、国产化率提升。洁净室上游主要为系统集成所需材料与设备制造业，洁净室建造过程中所需的材料与设备包括电气材料、管道材料、通风空调材料、建筑洁净装修材料、洁净室系统设备以及其他辅助材料及设备等。目前上游市场方面，多数产品为标准化产品，参与企业众多，市场处于充分竞争态势，整体供应充足，不存在单一依赖情况。上游：主要为过滤设备、AMHS（自动搬运设备）等。洁净室工程除土建工程所需的水泥、防水等基础建筑材料外，主要核心清洁系统设备包括过滤设备，此外需搭载内部装饰系统、电力及仪控系统、防微震系统、消防及安全系统。过滤设备主要的组成产品