中科飞测-公司研究新股分析报告：国内检测和量测设备巨头新品拓展打开长期成长空间-230518（37页）.pdf

1、 敬请阅读末页的重要说明 证券研究报告|公司深度报告 2023 年 05 月 18 日 国内国内检测和量测设备检测和量测设备巨头巨头，新品新品拓展打开长期成长空间拓展打开长期成长空间 TMT 及中小盘/电子 中科飞测中科飞测聚焦半导体聚焦半导体检测和量测设备，检测和量测设备，2022 年年全球全球市场市场大约大约 125 亿美元，亿美元，国内国内市场大约市场大约 30-40 亿美元，亿美元，但国产化率不足但国产化率不足 5%，国产化空间巨大国产化空间巨大。公司。公司 2020 年年至今营收保持高增长，当前在手订单较为充沛，同时至今营收保持高增长，当前在手订单较为充沛，同时公司公司积极研发纳米级

2、晶圆积极研发纳米级晶圆缺陷检测等设备，缺陷检测等设备，未来未来产品矩阵覆盖的市场空间有望产品矩阵覆盖的市场空间有望大幅提升大幅提升。公司成长动力公司成长动力充足，建议重点关注充足，建议重点关注上市后表现上市后表现。中科飞测聚焦半导体检测和量测设备中科飞测聚焦半导体检测和量测设备，客户遍布中芯国际、长江存储等头部客户遍布中芯国际、长江存储等头部产线产线。公司成立于 2014 年，为国内半导体检/量测设备领先企业，下游客户遍布中芯国际、士兰集科、长江存储、芯恩集成等。公司团队成员行业背景深厚，公司成立至今多次承担省级/国家级重点课题。公司产品包括无图形和图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜

3、膜厚量测设备、套刻误差检测设备、3D 曲面玻璃量测设备等，并正在开发纳米级图形晶圆检测设备、金属膜厚量测设备等新品。公司公司近年来近年来营收和合同负债快速增长营收和合同负债快速增长，持续加大研发力度持续加大研发力度。2019 年至今，伴随国内需求提升和设备逐步通过验收，公司产品实现快速放量，整体销量从2019 年的 32 台提升至 2022 年的 138 台，销售收入从 2019 年的 0.56 亿元快速提升至 2022 年的 5.1 亿元，2022 年同比增长 41%，23Q1 收入 1.62 亿元，同比+254%。截至 2022 年底，公司合同负债为 4.85 亿元，同比大幅增长 212%

4、，23Q1 末公司合同负债继续增长至 5.45 亿元。考虑到公司设备生产周期一般不超过 8 个月，验收周期 2-7 个月，因此伴随公司产品持续放量和设备不断升级，公司未来收入有望保持较高增长态势；公司毛利率伴随设备升级和规模效应提升，逐步从 2018 年的 24%上升至 2022 年的 49%，23Q1为 55%，但由于公司研发投入力度较大，为满足纳米级晶圆缺陷检测设备等新品研发项目，2022 年研发投入 2.06 亿元，同比翻倍以上增长，导致 2022年扣非归母净利润出现亏损，23Q1 公司扣非净利润继续亏损 76 万元。2022 年全球年全球市场规模市场规模约约 125 亿美元亿美元，国产

5、化空间巨大。国产化空间巨大。检测和量测是保证芯片良率的重要工艺，应用光学技术的设备市场占比高达 75%，细分技术种类繁多，包括明场、暗场等光学检测，以及薄膜膜厚、套刻误差、关键尺寸光学量测等。根据 VLSI Research 和 Gartner 数据，2022 年全年半导体检测和量测设备市场空间预计 125 亿美元，国内 2022 年市场空间约 30-40 亿美元市场份额主要被 KLA、日立等海外厂商垄断，KLA 份额超 50%。国内厂商在产品种类、工艺覆盖度、制程等方面仍存在较大差距，2018-2022 年，中科飞测、上海精测、上海睿励三家主要半导体检/量测设备厂商国内市占率由0.69%提升

6、至大约 3-4%，国产化空间巨大。公司公司积极开发积极开发纳米级晶圆缺陷检测纳米级晶圆缺陷检测等等设备设备，未来产品矩阵覆盖的市场空间有未来产品矩阵覆盖的市场空间有望望大幅提高大幅提高。公司产品线涵盖了无图形晶圆检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备和套刻精度量测设备等产品，对应市场份额占比为 27.2%。公司正积极研发纳米图形晶圆缺陷检测设备、晶圆金属膜厚量测设备等，根据 VLSI Research 的统计，上述 2 种设备在全球半导体检测和量测设备市场中占据 25.2%份额，若未来项目能够成功落地并通过产业化验证，有望大幅开拓公司面向的市场容量。制程方面，公司已