中微公司-公司研究报告-本土刻蚀设备中流砥柱多线布局助力国产替代-230313（39页）.pdf

1、请务必阅读正文之后的免责声明及其项下所有内容证券研究报告证券研究报告|20232023年年0303月月1313日日买入买入中微公司（中微公司（688012.SH688012.SH）本土刻蚀设备中流砥柱，多线布局助力国产替代本土刻蚀设备中流砥柱，多线布局助力国产替代核心观点核心观点公司研究公司研究深度报告深度报告电子电子半导体半导体证券分析师：胡剑证券分析师：胡剑证券分析师：胡慧证券分析师：胡慧021-60893306021-S0980521080001S0980521080002证券分析师：周靖翔证券分析师：周靖翔证券分析师：李梓澎证券分析师：李梓澎021-603754020755-S0980

2、522100001S0980522090001证券分析师：叶子证券分析师：叶子联系人：詹浏洋联系人：詹浏洋0755-81982153010-S0980522100003基础数据投资评级买入(上调)合理估值151.70-161.80 元收盘价123.50 元总市值/流通市值76106/76106 百万元52 周最高价/最低价150.48/76.70 元近 3 个月日均成交额660.92 百万元市场走势资料来源：Wind、国信证券经济研究所整理相关研究报告中微公司（688012.SH）-前三季度新签订单同比增长 60.24%，薄膜沉积设备加速布局 2022-10-31中微公司（688012.SH）

3、-1H22 扣非净利润同比增长约 600%，新增订单约 30 亿元 2022-07-07中微公司（688012.SH）-1Q22 刻蚀设备收入同比增长 105%，盈利能力显著提升 2022-04-29中微公司（688012.SH）-刻蚀设备收入快速增长，研发增强助力多线布局 2022-03-31中微公司-688012-2021 年三季报点评：下游需求旺盛，刻蚀设备高增长 2021-10-29国产刻蚀设备龙头企业国产刻蚀设备龙头企业，产品覆盖海外一线大厂及国内产品覆盖海外一线大厂及国内头部厂商头部厂商。中微成立于 2004 年，公司核心高管及技术人员多数具有国际半导体大厂从业经验，CEO 尹志尧

4、博士是近 300 项海内外专利的主要发明人。公司主营等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备以及空气净化设备，产品覆盖了半导体集成电路制造、先进封装、LED 生产、MEMS 制造等领域。公司 2022 年全年预计实现营收 47.4 亿元，同比增长 52.5%，实现归母净利润区间为11.70 亿元，同比增长 15.66%；实现扣非归母净利润 9.19 亿元，同比增长 183.44%。刻蚀机业务高速发展，刻蚀机业务高速发展，CCPCCP 市占率不断提升，市占率不断提升，ICPICP 设备快速放量。设备快速放量。公司CCP设备性能先进，在国产设备中处于绝对领先地位，已切入国际知名厂商5nm产线，国内市场份额持

5、续提升，2022 年公司已累计有2320个反应台在生产线运转；ICP 设备2022 年上半年收入4.13 亿元，同比增长 414.08%，截至2022 年6 月底，ICP Nanova设备已经顺利交付超过 220 台反应腔，在客户端完成验证的应用数量也在持续增加。截至2022 年中，本土刻蚀设备国产化率约两成，中美贸易摩擦持续刺激国产设备的需求，公司作为国产刻蚀设备龙头有望持续受益。MOCVDMOCVD 设备设备保持领先地位，保持领先地位，LPCVDLPCVD、EPIEPI、ALDALD有望成为业绩新增长点。有望成为业绩新增长点。公司MOCVD 在Mini-LED 中的蓝绿光生产线取得绝对领先

6、地位，针对Micro-LED 的新品设备也在积极研发，布局于金属钨填充的LPCVD设备、锗硅外延生长的Epi 设备和原子层沉积的ALD 设备研发顺利，部分已经进入样机制造和调试阶段，预计将于23 年陆续推出，有望成为公司新的业务成长点。投资布局量测设备投资布局量测设备，有望成为国产替代新军主力有望成为国产替代新军主力。量测设备贯穿整个晶圆制造环节，设备价值约占产线价值的13%，也是前道国产化率最低的环节之一，截至2022 年国产化率仅约 1%。KLA 的退出提高了国产量测设备环节的重要性，国产量测设备有望进入国产替代加速期，中微22 年对睿励仪器追加1.08亿元现金投资，持股比例从20.4%变