微导纳米-公司深度报告：中国ALD设备龙头半导体光伏两翼齐飞-230216（46页）.pdf

1、证券研究报告|公司深度|专用设备 http:/ 1/46 请务必阅读正文之后的免责条款部分 微导纳米(688147)报告日期：2023 年 02 月 16 日 中国中国 ALD 设备龙头，设备龙头，半导体半导体光伏光伏两翼齐飞两翼齐飞 微导纳米微导纳米深度报告深度报告 投资要点投资要点 中国中国 ALD 设备龙头，技术引领半导体、光伏设备领域设备龙头，技术引领半导体、光伏设备领域 公司以原子层薄膜沉积技术为核心，下游覆盖半导体、光伏、柔性电子三大领域。公司是国内首家成功将 High-k原子层沉积设备应用于 28nm集成电路制造前道量产线的国产设备公司，已在逻辑芯片、先进存储、化合物半导体等多个

2、细分应用领域获得订单。公司首创将 ALD 技术应用于光伏领域，技术覆盖 PERC、TOPCon、xBC、钙钛矿等电池路线，TOPCon 整线工艺订单放量在即。2018-2021 年，公司营收由 0.42 亿元增长至 4.28 亿元，CAGR 高达 117%。半导体设备：半导体设备：预计预计 2024 年我国年我国 ALD 设备市场规模设备市场规模超百超百亿元，国产替代需求广阔亿元，国产替代需求广阔 ALD 设备是芯片微缩的核心动力之一，SEMI预计 2020年-2025 年全球 ALD 设备市场规模年复合增长率达 26.3%，据此测算 2024 年我国 ALD 设备市场规模达百亿元。全球 AL

3、D 设备被国外厂商垄断，国产 ALD 设备市占率低，且美国半导体管制下卡脖子环节得到关注，公司作为国内半导体 ALD 技术领军者享有更多设备验证机会，国产替代需求广阔，半导体 ALD 设备市占率有望加速突破。光伏设备：新型电池路线布局全面，光伏设备：新型电池路线布局全面，技术迭代下受益确定性高技术迭代下受益确定性高 公司电池新技术布局全面，TOPCon、xBC、钙钛矿均有出货，HJT 积极技术布局。TOPCon 领域，公司 ALD 设备市占率 60%+，整线设备加速导入大客户，放量可期。xBC 领域，22年上半年招标中公司 ALD 设备市占率超 75%，客户覆盖隆基、爱旭等 xBC 主要玩家。

4、钙钛矿领域，公司设备已出货欧洲。目前 N 型电池技术步入量产阶段，TOPCon 率先规模放量，预计 2022-2025 年迎 TOPCon 扩产高峰。公司当前受益于 TOPCon 扩产订单快速增长，未来有望受益于新型电池技术迭代，长期空间广阔。在手订单在手订单、人员、人员高增长，募投高增长，募投大幅扩产彰显发展信心大幅扩产彰显发展信心 受益于光伏下游高景气及半导体客户的拓展，公司在手订单高增长。截至 2022年 9月公司在手订单 19.75 亿元，是 2021年末的 2.2 倍。公司积极扩充人员，截至 2022年 6月末员工 808 人，是 2019 年末的 3.1倍，产能得到大幅提升。此次募

5、投项目拟建设 120台/年光伏及柔性电子 ALD 设备及 40 台/年半导体 ALD 设备产能，项目建设期分别为两年、三年，为订单持续增长提供产能支持。盈利预测：盈利预测：预计公司 2022-2024年实现营业收入 6.72、14.07、23.62 亿元，同比增长 57%、109%、68%，CAGR 87%；归属母公司净利润 0.56、1.65、2.50 亿元，同比增长 20%、198%、51%，CAGR 112%。首次覆盖，给予“增持”评级。风险提示：风险提示：国内市场竞争加剧的风险、技术迭代及新产品开发风险、新产品验证进度及市场发展不及预期的风险、美国半导体管制加剧风险 投资评级投资评级:

6、增持增持(首次首次)分析师：邱世梁分析师：邱世梁 执业证书号：S1230520050001 分析师：王华君分析师：王华君 执业证书号：S1230520080005 研究助理：王一帆研究助理：王一帆 基本数据基本数据 收盘价￥35.42 总市值(百万元)16,096.81 总股本(百万股)454.46 股票走势图股票走势图 相关报告相关报告 财务摘要财务摘要 Table_Forcast(百万元)2021A 2022E 2023E 2024E 营业收入 428 672 1,407 2,362 (+/-)(%)36.91%57.05%109.32%67.92%归母净利润 46 56 165 250