芯源微-投资价值分析报告：涂胶显影设备龙头28nm产品验收加速国产替代-230217（45页）.pdf

1、 证券研究报告证券研究报告 请务必阅读正文之后请务必阅读正文之后第第 44 页起的免责条款和声明页起的免责条款和声明 涂胶显影设备龙头，涂胶显影设备龙头，28nm28nm 产品产品验收验收加速加速国产国产替替代代 芯源微（688037.SH）投资价值分析报告2023.2.17 中信证券研究部中信证券研究部 核心观点核心观点 徐涛徐涛 科技产业联席首席分析师 S1010517080003 王子源王子源 半导体分析师 S1010521090002 芯源微是国内芯源微是国内半导体专用光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备半导体专用光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备领域的头领域的头部企业。公司打破国部

2、企业。公司打破国外厂商涂胶显影设备垄断，实现外厂商涂胶显影设备垄断，实现 28nm 及以上节点及以上节点 Track设备设备全面全面国产替代国产替代。下游客户覆盖。下游客户覆盖各行业头部各行业头部企业，企业，产品累计销量超过产品累计销量超过 1500台。台。公司处于公司处于快速快速成长期成长期，28nm 新品突破有望替代日系设备，增量订单弹性新品突破有望替代日系设备，增量订单弹性较大较大，我们给予公司目标价我们给予公司目标价 307 元元，首次覆盖，给予“买入”评级首次覆盖，给予“买入”评级。公司公司成立于成立于 2002 年，在涂胶显影领域有年，在涂胶显影领域有二十年二十年的的技术积累，近三

3、年实现技术积累，近三年实现业绩业绩快快速速成长成长。公司 2002 年由中科院沈阳自动化所发起创建，是国内半导体光刻工艺涂胶显影设备领军厂商。公司产品包括光刻工序涂胶显影设备（收入占比约 6成）和单片式湿法设备（收入占比 34 成）。截至 2022 年 7 月 25 日，公司生产的应用于各领域的涂胶显影设备和单片式湿法设备已累计销售 1500 余台。公司规模处于高速成长期，2018-2021 三年营收 CAGR 约 58%，净利润 CAGR约 36%。公司客户覆盖集成电路制造前道晶圆加工、后道先进封装环节及化合物、MEMS、LED 芯片制造等各行业头部企业，从新品验证到获得批量重复订单是公司快

4、速成长的驱动力。公司公司深耕光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，深耕光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，实现实现 28nm 及以上节点及以上节点Track 设设备备全面全面国产替代。国产替代。光刻工序用涂胶显影设备：光刻工序用涂胶显影设备：是公司核心产品，2021年营收 5.06 亿元，占营业收入比例 61.09%，同比+114.40%。公司生产的前道涂胶显影设备逐步实现 I-lineKrFArFArFi 工艺，根据公司 2022 年 12 月新品发布会信息，可用于 28nm ArFi 工艺的新产品 FT（III）300 于 2022 年底实现客户验收，下游意向客户覆盖国内逻辑、存储、功率

5、器件等多家知名厂商，公司预计该机型 2023 年可实现批量订单。单片湿法设备单片湿法设备：公司湿法设备业务2021 年营收 2.90 亿元，占比 34.95%，同比+280.56%。该业务主要由清洗机、去胶机和湿法刻蚀机构成，公司生产的集成电路前道晶圆加工领域用物理清洗机 Spin Scrubber 设备在自动刷压控制技术上已经达到国际先进水平，成功实现国产替代并在国内领先，目前正在研发在 28nm 以下制程应用的单片化学清洗设备。市场分析：公司市场分析：公司可触及可触及全球市场全球市场规模规模近近 90 亿美元，亿美元，在在涂胶显影设备涂胶显影设备领域国内市领域国内市场份额约场份额约 12%

6、。根据 Gartner 预测，2022 年全球晶圆制造设备市场中，公司主营的涂胶显影及单片清洗设备规模占比分别为 3.8%/4.1%，综合计算 2022 年公司合计覆盖全球市场规模为 86 亿美元。涂胶显影设备领域涂胶显影设备领域：日本的东京电子占全球市场约 90%，国内方面，我们汇总 2016-2022 年国内部分晶圆厂招标数据（中国国际招标网数据，下同）显示芯源微市场份额约 12%，作为目前国内少数有高端 in-line 设备量产制造能力的厂商，我们预计公司后续有望持续受益设备国产替代。清洗设备领域：清洗设备领域：日韩美四大厂全球市场份额达 98%。国内方面，我们汇总招标数据显示中国大陆厂