1、证券研究报告2022年12月13日【方正电子公司深度报告】至纯科技（603690）布局“高纯工艺系统+制程设备+零部件/晶圆再生”多点开花，打造半导体垂直化业务版图分析师：吴文吉 登记编号：S1220521120003联系人：胡园园投资要点n盈利预测：我们预计公司2022-2024年实现营业收入29.6/39.9/50.8亿元，归母净利润3.6/5.4/6.9亿元，首次覆盖，给予“推荐”评级。n风险提示：（1）下游扩产不及预期；（2）产品研发、与市场应用不及预期；（3）贸易争端影响上游零部件采购，公司出货不及预期。单位/百万20212022E2023E2024E营业总收入2084 2964 3

2、987 5082(+/-)(%)49.18 42.24 34.51 27.45 归母净利润282 358 541 694(+/-)(%)8.12 27.23 50.78 28.46 EPS(元)0.89 1.12 1.69 2.17 ROE(%)6.93 8.01 10.77 12.16 P/E54.04 38.2925.39 19.77P/B3.77 3.07 2.74 2.40 盈利预测n领军高纯工艺系统，切入半导体湿法设备打造成长新引擎。公司自2000年成立，传统业务为半导体、光伏、医药等行业提供高纯工艺系统，2016-2021年复合增速32.6%，持续保持稳健增长；2015年切入半导体

3、湿法设备领域，2018年放量，2021年收入贡献已达33.6%，两年复合增速193%，规模高速扩张；未来，高纯工艺系统+湿法制程设备将继续成为驱动公司规模扩张的重要引擎。n定增18亿元再辟新曲线，布局核心零部件+炉管/涂胶显影。公司以高纯工艺技术为核心，逐步延伸至工艺生产耗材及核心部件领域。2022年公司拟非公开募资18亿元用于核心零部件、炉管/涂胶显影设备研发及产业化，同时加码启东二期产能，三大募投项目合计达产产值达24.1亿元，再次开辟成长新曲线，增厚公司长期发展空间。n受益内资晶圆厂扩产+国产替代，多业务领域均迎黄金发展期。中美科技博弈下，供应链本土化趋势及迫切性凸显，同时依托中国庞大的

4、下游市场需求，内资晶圆厂纷纷加码产能布局，据我们不完全统计，截至2021年底，已规划12英寸项目待扩产能合计达158万片/月，假设50亿元/万片12英寸投资成本，则待扩产能合计将带来7900亿元半导体设备、零部件、工艺系统等配套采购需求；叠加国产替代驱动，公司高纯工艺系统、制程设备、核心零部件等业务板块均将充分受益，迎来黄金发展期。资料来源：wind、公司公告、方正证券研究所整理2WW8VrUpVcVuYsRaQ8QaQsQpPsQmOeRqRsQjMpOyQ9PrQsRvPnNzRwMqMoM目录至纯科技：多点开花，垂直化打造半导体业务生态1公司财务：制程设备高速放量，高纯工艺系统稳健增长2

5、市场驱动：晶圆厂扩产+国产替代，增量市场广阔45盈利预测业务布局：制程设备+高纯工艺系统+零部件/晶圆再生33营收：3亿元；毛利率：50.43%2021年至纯科技：引领高纯工艺系统+制程设备n 至纯科技成立于2000年，是国内半导体清洗设备的龙头企业。公司主要业务包括槽式、单片湿法清洗设备、高纯工艺系统服务、光传感器及光器件。公司近年持续推进半导体设备发展，槽式、单片清洗设备均已覆盖到28nm制程。n 公司的客户均为各自领域的佼佼者，产品相继获得中芯，长存、长鑫、华虹、华润微、三星、海力士、士兰微等公司的认可。资料来源：至纯科技公告、方正证券研究所整理高洁净材料制程设备高纯工艺系统光电子槽式/

6、单片式清洗炉管/涂胶显影营收：7亿元；毛利率：32.48%2021年半导体/LED光伏/医药营收：10.8亿元；毛利率：34.71%2021年晶圆再生及部件清洗大宗气体整厂供气湿法模块及零部件其他业务4发展历程：向泛半导体行业转型扩张2000年至纯科技成立开展晶圆再生及零部件清洗业务至一科技成立拓展材料零部件相关业务持续发展半导体领域持续进行产能扩张收购波汇科技开展光传感器业务成立湿法部门（子公司至微科技）主板上市200020172018201920202021n 2000-2016年：多行业发展，业务遍布医药、光伏、半导体行业。n 2016年至今：重点聚焦半导体行业。2017年上市后在半导体