1、 敬请参阅最后一页特别声明-1-证券研究报告 2022 年 12 月 9 日 行业行业研究研究 一“明”一“暗”检缺陷，相辅相成提良率一“明”一“暗”检缺陷，相辅相成提良率 半导体设备研究系列之明暗场缺陷检测设备 机械行业机械行业 前道量检测是半导体晶圆制造的关键工序之前道量检测是半导体晶圆制造的关键工序之一，其中明场和暗场检测是重要的检一，其中明场和暗场检测是重要的检测环节，对芯片制造起着至关重要的作用，是提高产品良率、降低生产成本、推测环节，对芯片制造起着至关重要的作用，是提高产品良率、降低生产成本、推进工艺迭代的重要环节，在多个方面存在很大的不同进工艺迭代的重要环节，在多个方面存在很大的

2、不同。根据应用技术的不同，现阶段的前道缺陷检测主要包括电子束检测和光学检测，其中光学检测技术凭借速度快、无接触、非破坏和易于在线集成等优点被广泛应用。常见的光学缺陷检测系统分为明场系统和暗场系统，二者在照明方法、成像原理等方面存在较大差异，相应地，在技术难度上也有一定差别，整体而言明场系统对照明光束物理特征、成像系统、信噪比等方面的要求更加严格。一般来说，无图形晶圆的缺陷检测使用暗场系统，有图形晶圆的缺陷检测使用明场系统或是二者的结合。20212021 年，按销售额计，前道量检测设备在半导体制程设备市场中占比年，按销售额计，前道量检测设备在半导体制程设备市场中占比 1 11 1%，缺，缺陷检测

3、在前道量检测市场占比高达陷检测在前道量检测市场占比高达 55%55%，其中有图形晶圆检测设备市场占比约，其中有图形晶圆检测设备市场占比约34%34%，随着下游需求扩张，缺陷检测市场空间广阔。，随着下游需求扩张，缺陷检测市场空间广阔。半导体量检测设备是第四大制程设备环节，诞生大公司 KLA。量检测设备的市场规模小于刻蚀、薄膜沉积设备、光刻机，但大于清洗设备、CMP、离子注入、Track、电镀等环节。2021 年，按销售额计，前道量检测设备全球市场规模 104亿美元，占 WFE 市场的 11%，随着新能源汽车、光伏产业、工业控制等下游需求不断扩张，半导体行业具有较大的发展空间，2021 年全球半导

4、体设备市场增速高达 44.10%，国内市场增速高达 58.23%。SEMI 预测，全球半导体设备市场规模将在 2022 年达到 1175 亿美元，在 2023 年达到 1208 亿美元。前道量检测设备是半导体设备市场的重要组成部分，按销售额计，缺陷检测设备在前道量检测设备中占比约达 55%，更具体地，有图形晶圆检测设备占比约为 34%，缺陷检测市场前景广阔。半导体量检测设备市场主要由国外厂商垄断，尽管目前中国大陆已经成为半导体量检测设备市场主要由国外厂商垄断，尽管目前中国大陆已经成为全球最全球最大的前道量检测市场，国内厂商市场份额占比仍然较小。大的前道量检测市场，国内厂商市场份额占比仍然较小。

5、国际市场上国际市场上 KLAKLA 一枝独秀一枝独秀。根据 Gartner 统计，在 2021 年全球半导体前道量检测设备市场中，KLA 一家独大，按销售额计，KLA 的全球占有率高达 52%，另外应用材料占比 12%，日立高新占比 11%，行业 CR3 达到 75%。国内厂商后起直追，上海精测、中科飞测、东方晶源、睿励、御微等初露头角国内厂商后起直追，上海精测、中科飞测、东方晶源、睿励、御微等初露头角，天准科技通过收购 Muetec、赛腾股份通过收购 Optima，布局量检测业务。明场缺陷检测、暗场缺陷检测也有本土厂商布局：上海精测、中科飞测。明场缺陷检测、暗场缺陷检测也有本土厂商布局：上海

6、精测、中科飞测。精测电子：明场光学缺陷检测设备已取得突破性订单，参股公司上海精测已斩获两台明场检测 BFI100 型设备订单，该型号设备主要用于 65nm-180nm 的半导体产线制程监控。公司在有图形晶圆缺陷检测领域具有较大的发展潜力，有望加速推进进口替代并实现公司市场份额的进一步扩张。中科飞测：具有暗场缺陷检测的核心技术储备，例如用以实现高精度无图形晶圆缺陷高速检测的深紫外成像扫描技术。投资建议：投资建议：建议关注在明场检测设备已有突破性进展的精测电子、精测电子、专注晶圆缺陷检测的中科飞测。中科飞测。风险分析：风险分析：产品研发进度不及预期、下游需求量低于预期。产品研发进度不及预期、下游需